曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种曝光装置，其中，形成为能够在与被曝光体的面及光掩模的面平行的面内向箭头(B)方向移动的透镜组装体(11)中，具有将多个单位透镜组装体(11A～11C)以各透镜列(16)的透镜组(15)在与箭头(B)方向交叉的方向上以固定的排列间距排列的方式排列成一列的结构，其中，该多个单位透镜组装体(11A～11C)中，在与箭头(B)方向交叉的方向上以固定的排列间距排列构成为能够将光掩模的掩模图案的等倍正立像成像到被曝光体表面上的多个透镜组(15)而形成多个透镜列(16)，且多个单位透镜组装体(11A～11C)以使各透镜列(16)的各透镜组(15)与相对于箭头(B)方向倾斜交叉的轴线(O-O)平行地排列的方式将各透镜列(16)在与箭头(B)方向交叉的方向上相互错开固定量而形成，且具有与轴线(O-O)平行地切除相互相邻的端部(11Aa、11Ba、11Bb、11Ca)的结构。由此，以高析像力进行大面积的被曝光体上的非周期性的图案的曝光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及经由光掩模向保持在台架上的被曝光体照射曝光光来曝光形成规定的图案的曝光装置，详细而言，涉及能够以高析像力进行大面积的被曝光体上的非周期性的图案的曝光的曝光装置。
技术介绍
此种现有的曝光装置经由光掩模对以固定速度输送的被曝光体间歇地照射曝光光，从而使光掩模的掩模图案在规定位置曝光，该曝光装置具备第一摄像机构，其以对基于上述光掩模得到的曝光位置或比该曝光位置靠上述被曝光体的输送方向跟前侧的位置进行摄像的方式配设，且具有在与上述输送方向大致正交的方向上排列的多个受光元件；第二摄像机构，其以对基于上述光掩模得到的曝光位置或比该曝光位置靠上述被曝光体的输送方向跟前侧的位置进行摄像的方式配设，且具有与上述输送方向大致平行地排列的多个受光兀件；校准机构，其使上述被曝光体及光掩模在与上述输送方向大致正交的方向上相对移动，来对基于该光掩模得到的曝光位置进行修正；控制机构，当通过上述第一摄像机构检测出在上述被曝光体上预先设置的曝光位置修正用的第一基准位置时，该控制机构基于其来控制上述校准机构的驱动，当通过上述第二摄像机构检测出在上述被曝光体上预先设置的曝光光的照射时机抽出用的第二基准位置时，该控制机构基于其来控制上述曝光光的照射时机(例如，参照专利文献I)。在先技术文献专利文献专利文献I :日本特开2008-76709号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在这样的现有的曝光装置中，当对被曝光体(基板)进行具有周期性的图案的曝光时，仅向一个方向以固定速度输送基板的同时以规定周期控制曝光光的照射时机就能够容易进行，但难以实现非周期性的图案的曝光。另外，由于使光掩模相对于基板接近对置而进行曝光，因此可能因向光掩模照射的光源光中的视角(平行光半角)的存在，导致基板上的图案的像模糊而使分辨率降低，从而无法将细微的图案曝光形成。针对这样的问题，通过使用将光掩模的像利用成像透镜向基板上缩小投影而进行曝光的步进曝光装置能够应对，但例如在对Im见方以上的大面积的基板进行曝光的情况下，使用的透镜孔径与基板的大小对应而变大，从而存在成为高价的曝光装置这样的问题。因此，本专利技术的目的在于应对这样的问题点，提供一种能够以高析像力进行大面积的被曝光体上的非周期性的图案的曝光的曝光装置。用于解决课题的手段为了实现上述目的，本专利技术的曝光装置具备透镜组装体，该透镜组装体形成为能够在载置被曝光体的台架和形成有掩模图案的光掩模之间且在与所述被曝光体的面及所述光掩模的面平行的面内移动，并且，该透镜组装体在与所述移动方向交叉的方向上具有排列成一列的多个单位透镜组装体，所述多个单位透镜组装体在与所述移动方向交叉的方向上以固定的排列间距排列多个透镜组而形成多个透镜列，所述多个透镜组构成为能够将所述光掩模的掩模图案的等倍正立像成像到所述被曝光体表面上，其中，各个所述单位透镜组装体以使各个所述透镜列的各个透镜组与相对于所述透镜组装体的移动方向倾斜交叉的轴线平行地排列的方式将各个所述透镜列在与所述移动方向交叉的方向上相互错开固定量而形成，并且各个所述单位透镜组装体形成与所述轴线平行地切除相互相邻的端部的结构，而且，各个所述透镜列的透镜组配置成在所述透镜组装体的整体上以固定的排列间距排列。 通过这样的结构，使透镜组装体在与载置于台架上的被曝光体的面及光掩模的面平行的面内移动，同时将光掩模的掩模图案的等倍正立像成像到被曝光体表面上，从而在被曝光体上对非周期性的图案进行曝光，其中，该透镜组装体中，将多个单位透镜组装体以各个透镜列的透镜组整体以固定的排列间距排列的方式配置成一列，所述多个单位透镜组装体以使多个透镜列的以固定的排列间距排列的多个透镜组与相对于透镜组装体的移动方向倾斜交叉的轴线平行地排列的方式将各透镜列在与上述移动方向交叉的方向上相互错开固定量而形成，并且形成与上述轴线平行地切除相互相邻的端部的结构。另外，在各个所述单位透镜组装体中，以在所述透镜组装体的移动方向上观察时各个所述透镜组的一部分重叠的方式使各个透镜列在与所述移动方向交叉的方向上相互错开。由此，在使透镜组装体移动的同时将光掩模的掩模图案向被曝光体上进行曝光，其中，该透镜组装体以在透镜组装体的移动方向上观察时各透镜列的各透镜组的一部分重叠的方式使相互相邻的透镜列中的一方的透镜列在与上述移动方向交叉的方向上错开规定量而设置。并且，所述单位透镜组装体构成为，使在透明的基板的表背面上相互对应而形成有多个凸透镜的第一、第二、第三及第四透镜阵列以对应的各凸透镜的光轴一致的方式重合，并且使所述光掩模的掩模图案的中间倒立像成像到所述第二透镜阵列与所述第三透镜阵列之间。由此，通过透镜组装体，将在光掩模上形成的掩模图案的等倍正立像成像到被曝光体表面上，其中，该透镜组装体构成为，使在透明的基板的表背面上相互对应而形成有多个凸透镜的第一、第二、第三及第四透镜阵列以对应的各凸透镜的光轴一致的方式重合，并且使光掩模的掩模图案的中间倒立像成像到第二透镜阵列与第三透镜阵列之间。并且，所述单位透镜组装体中，与所述第三透镜阵列的位于光的行进方向上游侧的凸透镜的表面接近而设置具有规定形状的开口的第一光阑，从而将基于单位透镜得到的曝光区域限制在透镜的中央部。由此，通过与位于透镜组装体的第三透镜阵列的光的行进方向上游侧的凸透镜的表面接近而设置的具有规定形状的开口的第一光阑，将基于单位透镜而得到的曝光区域限制在透镜的中央部。另外，所述第一光阑的开口以如下方式形成对其一部分进行遮光的形状，S卩，在俯视下矩形形状的开口中，在所述透镜组装体的移动方向上观察时，所述第一光阑的开口与相邻的第一光阑的开口的一部分重叠的部分的面积成为所述重叠的部分整体的面积的一半。由此，通过以在俯视下矩形形状的开口中，在透镜组装体的移动方向上观察时，第一光阑的开口与相邻的第一光阑的开口的一部分重叠的部分的面积成为重叠部整体的面积的一半的方式对一部分进行遮光的形状的第一光阑的开口来限制曝光区域，从而将光掩模的掩模图案向被曝光体表面进行曝光。这种情况下，通过在透镜组装体的移动方向上前后存在的透镜组的重复曝光来进行规定量的曝光。并且，在所述单位透镜组装体中，与所述第四透镜阵列的位于光的行进方向上游侧的透镜表面接近而设置限制光束直径的第二光阑。由此，通过与第四透镜阵列的光的行进方向上游侧的透镜表面接近而设置的第二光阑来限制光束直径。并且，所述台架能够将所述被曝光体向一个方向输送，所述透镜组装体在所述台架的移动暂时停止的状态下移动。由此，使被曝光体向一个方向输送中的台架暂时停止，在该停止状态下使透镜组装体移动而将光掩模的掩模图案向被曝光体上进行曝光。专利技术效果·根据本专利技术的第一方面，能够使透镜组装体与光掩模的面平行地移动的同时进行曝光，该透镜组装体形成为能够将在光掩模上形成的掩模图案的等倍正立像成像到被曝光体表面上，且即使上述掩模图案为非周期性的图案，也能够以高析像力进行曝光。这种情况下，上述透镜组装体优选为比光掩模的尺寸小的尺寸。因此，即使与大面积的被曝光体对应而使光掩模的尺寸变大，也能够使使用的透镜组装体的尺寸变小，从而能够使部件成本廉价。由此，能够使装置的制造成本廉价。另外，由于透镜组装体通过将多个单位透镜组装体排列成一列而构成，因此与将多个单位透镜组装体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：水村通伸，畑中诚，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：
国别省市：