用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备和方法技术

本发明专利技术涉及一种用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备和方法用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备，包含：第一照相装置，安置在玻璃衬底上方以便拍摄玻璃衬底上的表面缺陷的第一图像；第二照相装置，安置在玻璃衬底上方以便拍摄玻璃衬底上的表面缺陷的第二图像；暗场照明系统，安置在玻璃衬底下方以充当朝向第一照相装置和第二照相装置而穿透玻璃衬底的暗场照明；以及检测信号处理器，其操作第一图像上的缺陷位置的坐标和第二图像上的缺陷位置的坐标，其中第一照相装置和第二照相装置形成呈不平行于玻璃衬底的至少转移方向的线形状的照相区域，形成针对玻璃衬底的顶部表面的将彼此重叠的照相区域，且形成针对玻璃衬底的底部表面的彼此不同的照相区域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，且更特定来说，涉及一种用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备及其方法，其中经由两个照相装置和表面缺陷的A/B表面根据相应图像中显示的表面缺陷的长度的差异而获得两个图像。
技术介绍
平板显示器中所使用的玻璃衬底仅在其在玻璃工业中称为“表面A”的一个表面上沉积有微型电路图案(micro circuit pattern)，且在其在玻璃工业中称为“表面B”的另 一表面上未沉积微型电路图案。当玻璃衬底的表面A上存在缺陷时，如果微型电路图案沉积在所述缺陷上，那么微型电路图案的有缺陷的比例可能增加。因此，有必要在沉积微型电路图案之前精确地检测玻璃衬底(特定来说，上面将沉积微型电路图案的表面A)上是否存在缺陷。为了参考，下文使用的术语“缺陷”是指各种类型的表面缺陷，例如划痕(scratches)的产生、污垢粘附(dirt adhering)、表面隆起(surface protrusion)、泡沫产生等。对于用于检测透明板状主体上的缺陷的检查装置，广泛采用BF(明场(BrightField))光学系统(optical system)和DF(暗场(Dark Field))光学系统。本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发光二极管点灯装置，其特征在于包括：发光二极管点灯电路；以及发光二极管负载，将并联连接有多个发光二极管元件的多个并联电路串联连接、并且连接于所述发光二极管点灯电路的输出端，所述各并联电路在1个发光二极管元件成为开放故障模式时，剩余的发光二极管元件继续点灯，在2个以上的发光二极管元件成为开放故障模式时，剩余的发光二极管元件是利用过电流而成为开放故障模式，从而所有的发光二极管元件熄灭。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黄圭弘，金泰皓，郑址和，权载勋，马克·肯曼，玛寇·瓦泰尔，艾瑞克·路赫斯，安捷斯·博克，
申请(专利权)人：三星康宁精密素材株式会社，宝斯拉视觉技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：