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本发明涉及一种用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备和方法用于检测玻璃衬底的表面缺陷的设备，包含：第一照相装置，安置在玻璃衬底上方以便拍摄玻璃衬底上的表面缺陷的第一图像；第二照相装置，安置在玻璃衬底上方以便拍摄玻璃衬底上的表面缺陷的第二图像；暗场...该专利属于三星康宁精密素材株式会社;宝斯拉视觉技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星康宁精密素材株式会社;宝斯拉视觉技术股份有限公司授权不得商用。