液体静压运动平台制造技术

本发明专利技术提供了一种液体静压运动平台，包括：主体，其包括滑台、导轨和底座；所述导轨安装在所述底座上，其槽中嵌入所述滑台；驱动装置，其包括动子、定子和三路分油块；所述定子安装在所述底座上；所述动子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑台的下表面；所述三路分油块安装在所述滑台的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺和读数头；所述光栅尺安装在所述滑台的侧表面，其刻度面与所述读数头贴合；所述读数头固定在所述导轨上。该液体静压运动平台由于采用直线电机驱动，避免了滚珠丝杆传动的回程误差问题；配备用于运动误差补偿的位置检测装置，所以提高了平台的运动精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及精密运动平台领域，具体而言，涉及一种液体静压运动平台。
技术介绍
液体静压运动平台以压力将液体导入油腔，在滑台与导轨间形成油膜，凭借油膜使滑台和导轨接触面间处于液体摩擦状态。与机械导轨平台相比，其在驱动功率、使用寿命、承载力、抗振性、灵活性等方面都具备优势。相关的液体静压运动平台采用开环、半闭环循环控制方式，通过旋转电机带动滚珠丝杆驱动滑台在导轨上动作。然而这种构造存在缺陷，电机振动和丝杠传动误差都会对平台的运动精度造成影响。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种液体静压运动平台，以解决上述的问题。在本专利技术的实施例中，提供了一种液体静压运动平台，包括主体，其包括滑台、导轨和底座；所述导轨安装在所述底座上，其槽中嵌入所述滑台；驱动装置，其包括动子、定子和三路分油块；所述定子安装在所述底座上；所述动子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑台的下表面；所述三路分油块安装在所述滑台的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺和读数头；所述光栅尺安装在所述滑台的侧表面，其刻度面与所述读数头贴合；所述读数头固定在所述导轨上。本专利技术因为采用直线电机以磁力场方式驱动，消除了滚珠本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体静压运动平台，其特征在于，包括：主体，其包括滑台（1）、导轨（2）和底座（3）；所述导轨（2）安装在所述底座（3）上，其槽中嵌入所述滑台（1）；驱动装置，其包括动子（4）、定子（5）和三路分油块（6）；所述定子（5）安装在所述底座（3）上；所述动子（4）其一端嵌入所述定子（5）的槽中，其另一端固定在所述滑台（1）的下表面；所述三路分油块（6）安装在所述滑台（1）的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺（7）和读数头（8）；所述光栅尺（7）安装在所述滑台（1）的侧表面，其刻度面与所述读数头（8）贴合；所述读数头（8）固定在所述导轨（2）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵春花，
申请(专利权)人：昆山允可精密工业技术有限公司，
类型：发明
国别省市：