【技术实现步骤摘要】
本技术涉及立式轴系的液体静压转动支承结构以及精密超精密研磨抛光机，尤其涉及用于立式轴系的液体静压转动支承组件及研磨抛光机。技术背景精密超精密研磨抛光机主要用于对蓝宝石衬底、水晶、硅片、光电材料、光学玻璃、手机玻璃、手机触摸屏、陶瓷片、石英片、石墨密封环和硅晶圆等非金属材质的单面、双面研磨，还能用于对铜、铁、铝、不锈钢、模具钢、塑料、铝合金、锌合金、钛合金、镍合金、锡合金、硬质合金、碳钢和钨钢等各种金属材质的单面、双面研磨加工。研磨抛光机的转子作为核心部件，其性能的高低直接影响到精密超精密研磨抛光机的整体水平，而转子轴承对机床的平稳运行有着重要的影响。目前，应用于精密超精密研磨抛光机的转子主要为滚动轴承支撑的部件。其不足之处在于(1)该转子部件不是单独的功能部件，不能单独设计制造，装配到整体研磨抛光机的精度依赖于套筒和内部轴系的精度，装配周期长，成本高，装配精度不宜保证，维修拆卸困难；(2)滚动轴承部件中的滚动轴承是在接触状态下旋转工作，不可避免的存在摩擦磨损和疲劳磨损，使用寿命较短，工作一段时间之后，必须拆开主轴进行维修。因此现有的精密超精密研磨抛光机的转子...
【技术保护点】
一种用于立式轴系的液体静压转动支承组件，其特征在于：包括上液体静压轴承（1）、下液体静压轴承（2）、止推环（3）、与旋转件连接的内套（4）以及与固定件连接的外套（5），所述内套（4）上部设有止推轴肩（41），所述止推环（3）固定于所述内套（4）下部，所述外套（5）套设于内套（4）外，所述外套（5）内壁上设有止推凸台（51），所述止推凸台（51）位于止推轴肩（41）和止推环（3）之间，所述上液体静压轴承（1）装设于止推轴肩（41）与止推凸台（51）之间，所述下液体静压轴承（2）装设于止推凸台（51）与止推环（3）之间。
【技术特征摘要】
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