高纯氧提取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种高纯氧提取装置，包括保冷箱1、下塔C1、上塔C2、设置在下塔C1和上塔C2之间的冷凝蒸发器K、过冷器E3、第一粗氩塔C3、与第一粗氩塔C3相连通的第二粗氩塔C5、与第一粗氩塔C3和第二粗氩塔C5相连通的循环液压泵AP、与下塔C1相连通的精馏塔C4，所述的第二粗氩塔C5通过第一管道5与高纯氧塔C8的中上部相连通，高纯氧塔C8的顶部通过第二管道6与第二粗氩塔C5相连通，在高纯氧塔C8内设置有蒸发器8，蒸发器8一侧通过第四管道4与冷凝蒸发器K和精馏塔C4相连接，另一侧通过第三管道7与上塔C2相连通，在高纯氧塔C8的底部设置有高纯液氧回收管道3。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及空气分离领域，具体涉及ー种高纯氧提取装置。技术背景高纯氧用于ニ氧化硅的化学气相沉积，作为氧化源与产生高纯水的反应剂，干法氧化，与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀等等，特别是在我国电子行业得到了越来越广的应用，其需求量继续保持高增长。制取高纯氧的方法很多少量氧采用电解氧为原料，经催化脱氢可制取纯度为99. 99%以上的高纯氧。变压吸附法和膜分离法，但对原料氧要求比较高，氧含量> 99. 95%，一般的エ业氧是达不到的，选用的吸附材料价格很高，且产品生产规模比较小。低温全精馏法，由空气分离制造的，即将空气液化后经精馏提纯。 低温全精馏法制取高纯氧的流程组织已有的方法很多，但原料都是来自于普氧，利用两个精馏塔分两级去除氧中氮、氩、甲烷等杂质，以普氧换去高纯氧。因此，提供ー种结构简单，操作方便，エ艺简便，效率高的高纯氧提取装置，具有广阔的市场前景。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供一种结构合理简单，操作方便快捷，エ艺简便，效率高的高纯氧提取装置。本技术的技术方案是这样实现一种高纯氧提取装置，包括保冷箱I、下塔Cl、上塔C2、设置在下塔Cl和上塔C2之间的冷凝蒸发器K本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高纯氧提取装置，包括保冷箱（1）、下塔（C1）、上塔（C2）、设置在下塔（C1）和上塔（C2）之间的冷凝蒸发器（K）、过冷器（E3）、第一粗氩塔（C3）、与第一粗氩塔（C3）相连通的第二粗氩塔（C5）、与第一粗氩塔（C3）和第二粗氩塔（C5）相连通的循环液压泵（AP）、与下塔（C1）相连通的精馏塔（C4），其特征在于：所述的第二粗氩塔（C5）通过第一管道（5）与高纯氧塔（C8）的中上部相连通，高纯氧塔（C8）的顶部通过第二管道（6）与第二粗氩塔（C5）相连通，在高纯氧塔（C8）内设置有蒸发器（8），蒸发器（8）一侧通过第四管道（4）与冷凝蒸发器（K）和精馏塔（C4）相连接，另一侧通过第三管...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李美玲，刘景武，马源，卓越光，岳跃勇，黄磊，
申请(专利权)人：开封空分集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：