一种工作用真空计校准装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种工作用真空计校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：供气系统、微调阀、标准真空计、标准容器、小孔、波纹管截止阀、校准室、工作用真空计、机械泵、隔断阀、分子泵、全金属插板阀。所述装置延伸了工作用真空计的校准下限，降低了测量不确定度，提高了校准精度，解决了真空度在1×10-4Pa～1×10-1Pa范围内工作用真空计的校准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别是实现真空度在I X IO-4Pa I X IO-1Pa范围内工作用真空计准确校准的装置及方法，属于测量领域。
技术介绍
工作用真空计广泛应用于工业生产各个领域，其测量范围大多在lX10_4Pa IXlO5Pa0工作用真空计的校准是真空计量领域的一个重要研究方向。文献“许红，张书令，唐景远。工作用热传导真空计的现场计量校准.第六届华东三省一市真空学术交流会，2009”介绍了目前工作用真空计校准时所采用的便携式真空校准系统。该系统配备了一台机械泵和一台分子泵，包含lTorr、10Torr、100Torr、IOOOTorr四个量程的2台薄膜真空计、真空容器、真空管道和阀门等，薄膜真空计精度分别为读数的±0. 25%和±0. 15%，极限真空可到I(T3Pa。`这种系统的不足之处是装置的极限真空度只能到10，&，无法实现1父10、& I X IO-1Pa范围内工作用真空计的准确校准；配备的标准真空计精度低，使校准不确定度增大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供，所述装置利用了体积为IL的标准容器和压力衰减比为1/1000的小孔，使标准容器中的压力经过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工作用真空计（8）校准装置，其特征在于：所述装置包括：供气系统（1）、微调阀（2）、标准真空计（3）、标准容器（4）、小孔（5）、波纹管截止阀（6）、校准室（7）、工作用真空计（8）、机械泵（9）、隔断阀（10）、分子泵（11）、全金属插板阀（12）；供气系统（1）、微调阀（2）、标准容器（4）、小孔（5）、波纹管截止阀（6）、校准室（7）、工作用真空计（8）依次相连，标准真空计（3）与标准容器（4）相连，机械泵（9）与标准容器（4）相连，分子泵（11）通过全金属插板阀（12）与校准室（7）相连，隔断阀（10）一端与机械泵（9）相连，另一端与分子泵（11）相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙雯君，冯焱，成永军，赵澜，盛学民，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所，
类型：发明
国别省市：