一种极高真空规校准装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种极高真空规校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：极高真空规、极高真空校准室、第一阀门、被校真空规、小孔、第二阀门、第三阀门、高精度真空规、极高真空抽气室、极高真空抽气机组、限流孔、稳压室、非蒸散型吸气剂泵、气源、微调阀、流量计抽气机组和第四阀门，外围设备包括加热装置。采用所述装置及方法测量不确定度小，能够实现在小于10-9Pa压力区间对极高真空规的精确校准，拓宽了流量测量范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别涉及一种采用动态流量法实现对极高真空规精确校准的装置及方法，属于测量领域。
技术介绍
在计量实验室中，大多采用高精度气体微流量计测量和提供已知气体流量。高精度气体微流量计多选用恒压式气体微流量计和固定流导法气体微流量计，其测量范围为(1X10_9 lX10_4)Pa*m3/s。在采用动态流量法校准时，由于受气体微流量计管道内壁放气效应的影响，流量的测量下限仅为lX10_9Pa*m3/s，相应对真空规的校准下限仅为10_8Pa量级，因此用已有气体微流量计无法实现对极高真空规的校准。 文献“李得天，李正海，郭美如，等.超高/极高真空校准装置的研制.真空科学与技术学报26 (2),2007. ”介绍了目前校准极高真空规采用的一种新方法一分流法。分流法是将恒压式气体微流量计或固定流导法气体微流量计提供的已知流量气体注入到分流室，再通过分流室上两个流导相差很大的小孔将气体流量分流到极高真空校准室和超高真空校准室，这样很少部分流量流入极高真空校准室，绝大部分流量流入超高真空校准室，从而延伸了校准下限，分流法是对动态流量法的发展。分流法和动态流量法相比，不足之处是需要测量分流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种极高真空规校准装置，其特征在于：所述装置包括：极高真空规（1）、极高真空校准室（2）、第一阀门（3）、被校真空规（4）、小孔（5）、第二阀门（6）、第三阀门（7）、高精度真空规（8）、极高真空抽气室（9）、极高真空抽气机组（10）、限流孔（11）、稳压室（12）、非蒸散型吸气剂泵（13）、气源（14）、微调阀（15）、流量计抽气机组（16）和第四阀门（17），外围设备包括加热装置；其中，极高真空抽气机组（10）与极高真空抽气室（9）相连，极高真空抽气室（9）与极高真空校准室（2）连在一起，极高真空抽气室（9）与极高真空校准室（2）中间有一个限流孔（11），极高真空规（1）和被校真空规（4）...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李得天，成永军，冯焱，习振华，赵澜，管保国，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所，
类型：发明
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