温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种极高真空规校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：极高真空规、极高真空校准室、第一阀门、被校真空规、小孔、第二阀门、第三阀门、高精度真空规、极高真空抽气室、极高真空抽气机组、限流孔、稳压室、非蒸散型吸气剂泵、气源、微调阀...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所授权不得商用。