一种高低温真空校准装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高低温真空校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：标准真空计、三通连接件、被校真空计、高低温真空校准室、监测真空计、温度控制板、制冷系统、抽气机组、阀门、供气系统、微调阀。所述装置及方法能够实现1×10-4Pa～1×105Pa范围内真空计在-140℃～+100℃温度范围内不同温度点的准确校准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别是实现真空度在I X IO-4Pa I X IO5Pa范围内、温度在-140°c +100°C范围内真空计的准确校准的装置及方法，属于测量领域。
技术介绍
真空计广泛应用于工业生产的各个领域，真空计的校准技术研究是真空计量领域的一个重要研究方向。文献“李正海.复合式真空标准校准真空计的方法.真空与低温3，1997.”介绍了目前真空计校准时所采用的一种典型校准装置和方法。复合式真空标 准装置采用了动态与静态相结合的方法，把动态比对、静态比对、静态膨胀三种校准真空计的方法复合在一台真空标准上，该装置的校准范围为10_4Pa IO5Pa,不确定度小于10%。这种系统的不足之处是装置没有考虑到工作环境温度变化对真空计示值的影响，只能实现真空计在实验室常温下的校准，无法满足lX10_4Pa IXlO5Pa范围内真空计在-140°C +100°C温度范围内不同温度点的准确校准。当被校准过的真空计在不同的工作环境中使用时，会引起较大的测量不确定度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供，所述装置及方法能够实现I X 10_4Pa I X IO5Pa范围内真空计在_140°C +本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高低温真空校准装置，其特征在于：所述装置包括：标准真空计（1）、三通连接件（2）、被校真空计（3）、高低温真空校准室（4）、监测真空计（5）、温度控制板（6）、制冷系统（7）、抽气机组（8）、阀门（9）、供气系统（10）、微调阀（11）；三通连接件（2）包括A、B、C三个开口端，其中，C端为进气端，C端位于A端和B端之间的直管的中间，与直管垂直，且C端到A、B两端的距离相等，A、B两端的内径相等，A端与标准真空计（1）连接，B端与被校真空计（3）连接，被校真空计（3）固定在温度控制板（6）上，温度控制板（6）与制冷系统（7）连接，三通连接件（2）、被校真空计（3）和温度控制板（6）置于高低...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙雯君，冯焱，成永军，赵澜，马奔，马亚芳，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所，
类型：发明
国别省市：