【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种机械制造领域的机械结构，尤其是适用于一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置。
技术介绍
真空镀膜设备的镀膜基片需放置在伞架上，在镀膜时伞架转动。由于镀膜时的真空度要求很高，因此伞架的传动装置要求具有很好的密封性。通常伞架的传动装置采用O型密封圈进行密封，但是采用O型密封圈容易磨损，需定期更换，影响了生产效率，增加了生产成本。
技术实现思路
为了克服现有真空镀膜技术中伞架传动装置采用的密封圈容易磨损的问题，本技术提供一种用于真空镀膜设备的伞架传动装置。本技术采用的技术方案是一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。进一步,所述传动轴通过皮带轮与驱动电机相连。进一步，所述固定轴内设有可放置电缆、水管、气管等辅助管路的空腔。进一步，所述传动装置的外侧设有水冷装置。本技术的有益效果体现在转动装置的密封由磁性流体密封结构代替O型密封圈密封结构，减少磨损，提高使用寿命；将真空镀膜设备所需的辅助管路放置在固定轴内，在检修时，可以将整个装置拆下，方便安装检修。附图说明图I是本技术传动装置的整体结构示意图。图2是本技术传动装置侧面图。图3是本技术传动装置剖面图。具体实施方式参照图I至图3，一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰I、传动轴2和固定轴3，所述传动轴2与所述固定轴3之间和所述传动轴2与所述固定法兰I之间均设有磁流体...
【技术保护点】
一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于：包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：洪婧，陈军，刘黎明，关永卿，陈虹飞，田俊杰，汪文忠，邓凤林，郑栋，将卫金，赵山泉，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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