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本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，特点是包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。本实用新...
该专利属于杭州大和热磁电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州大和热磁电子有限公司授权不得商用。

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