【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及人工晶体领域,具体地说本专利技术涉及一种用于晶体生长的笼型加热装置。
技术介绍
已知的,人工晶体种类繁多,大致有太阳能发电中使用的单晶硅、多晶娃,作为LED使用的蓝宝石衬底材料等等;这些人工晶体在加工中,通常会使用坩埚进行拉制,拉制过程中坩埚的加热使用的是环绕坩埚的加热套;常规的加热套为上下具有交错豁口的环形结构,上部设置为敞口,下部设有至少两个支座,每一支座分别连通电源的正极和负极,材质为石墨、钨、钥、铜或其它导体,由于前述材质制作中工艺要求或本体限制,豁口与加热套之·间温差很大,形成的热场很不均衡,尤其是拉制大尺寸、高质量的晶体是目前晶体生长技术研究和应用领域重要的发展趋势。制约的要素就是温场的控制。中国专利CN101323984A “、一种大尺寸高熔点晶体生长的加热装置及其制作方法;申请日、2008年07月23日;公开日、2008年12月17日”公开了一种鸟笼状加热装置,该装置采用了多个上下对应的铜环,在铜环与铜环之间插接钨棒,最上部利用钨棒折弯串联形成多组串联电路,不同组的钨棒设置有高低层次,也就是分为上层、中层和下层,异面相互交错分布,形 ...
【技术保护点】
一种用于晶体生长的笼型加热装置,包括加热棒(6)、串联机构、底座(10),其特征是:由复数根加热棒(6)上部折弯形成“Π”形结构,复数根加热棒(6)呈交错环形布局,所述环形布局加热棒(6)的下部连接至少两个底座(10),所述底座(10)由一个整圆均等份分割成至少两个且至少两个底座(10)对接面之间设有间距,在环形布局加热棒(6)的中部设有与底座(10)相同数量且相同结构串联相同加热棒(6)的串联机构使所述加热棒(6)形成鸟笼形结构的加热装置,所述至少一个底座(10)连接电极负极(14),其余的底座(10)连接电极正极(13);或至少一个底座(10)连接电极正极(13),其余 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘朝轩,王晨光,
申请(专利权)人:洛阳金诺机械工程有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。