单晶炉炉盖观察窗冷却系统技术方案

技术编号:8336453 阅读:181 留言:0更新日期:2013-02-16 13:10
本实用新型专利技术的目的是提供一种单晶炉炉盖观察窗冷却系统,基于单晶炉整体循环系统,其特征在于:单晶炉整体循环系统与炉盖观察窗冷却系统隔绝,炉盖观察窗位于单晶炉炉壁上,炉盖观察窗内部中空,一端设冷却进口,另一端设冷却出口。本实用新型专利技术的单晶炉炉盖观察窗冷却系统弥补了传统单晶炉整体循环系统在观察窗位置出现冷却死角的缺陷,避免了观察安全隐患。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉,具体设计一种单晶炉炉盖观察窗冷却系统
技术介绍
传统的单晶炉水循环系统为整体循环,覆盖单晶炉炉壁大部分面积,但由于单晶炉观察窗位置结构相对复杂,存在循环冷却死角,由于温度过高,观察员在观察窗前观察炉内情况时具有安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足,在单晶炉观察窗位置设置水循环冷却分系统,使得观察窗位置温度不至于过高,对观察人员造成伤害。具体方案如下一种单晶炉炉盖观察窗冷却系统,基于单晶炉整体循环系统,其特征在于单晶炉整体循环系统与炉盖观察窗冷却系统隔绝,炉盖观察窗位于单晶炉炉壁上,炉盖观察窗内部中空,一端设冷却进口,另一端设冷却出口。有益效果本技术的单晶炉炉盖观察窗冷却系统弥补了传统单晶炉整体循环系统在观察窗位置出现冷却死角的缺陷,避免了观察安全隐患。附图说明图I为单晶炉整体循环系统示意图;图2为本技术单晶炉炉盖观察窗冷却系统的循环示意图。其中1_炉盖观察窗,2-单晶炉炉壁,3-冷却进口,4-冷却出口。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步描述。一种单晶炉炉盖观察窗冷却系统,基于单晶炉整体循环系统,其特征在于单晶炉整体循环系统与炉盖观察窗冷却系统隔绝,炉盖观察窗I位于单晶炉炉壁2上,炉盖观察窗I内部中空,一端设冷却进口 3,另一端设冷却出口 4。最后,还需要注意的是,以上列举的仅是本技术的具体实施例子,显然,本技术不限于以上实施例子,还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本技术公开的内容直接导出或联想到的所有变形,均应认为是本技术的保护范围。

【技术保护点】
一种单晶炉炉盖观察窗冷却系统,基于单晶炉整体循环系统,其特征在于:单晶炉整体循环系统与炉盖观察窗冷却系统隔绝,炉盖观察窗位于单晶炉炉壁上,炉盖观察窗内部中空,一端设冷却进口,另一端设冷却出口。

【技术特征摘要】
1. 一种单晶炉炉盖观察窗冷却系统,基于单晶炉整体循环系统,其特征在于单晶炉整体循环系统与炉盖观察...

【专利技术属性】
技术研发人员:梁冬方莫丹君
申请(专利权)人:浙江宏业新能源有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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