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单晶炉炉盖观察窗冷却系统技术方案
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文档序号:8336453
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本实用新型的目的是提供一种单晶炉炉盖观察窗冷却系统,基于单晶炉整体循环系统,其特征在于:单晶炉整体循环系统与炉盖观察窗冷却系统隔绝,炉盖观察窗位于单晶炉炉壁上,炉盖观察窗内部中空,一端设冷却进口,另一端设冷却出口。本实用新型的单晶炉炉盖观察...
该专利属于浙江宏业新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江宏业新能源有限公司授权不得商用。
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