【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及静电电容式压力传感器及其制造工艺。
技术介绍
目前，静电电容式压力传感器是在两片陶瓷基板的表面分别设置平板电极，使两电极隔开一个微小的间隙平行相对，并将两片平行陶瓷基板固定为一体，构成一个平板电容器。上述基板受到外部压力，在板厚方向会产生弹性弯曲，导致静电电容值变化，检测这一电容值的变化，即可得出上述基板所受的外部压力。因为极板间的距离决定电容的大小，而初始电容决定于极板间初始距离，为保证检测精度均匀，必须精确控制电极间距离。为此有几种方法用于控制极板间隙。例如在两个基板中间加入陶瓷小球或者树脂小球，以保证规定的电极间距，这些方法见特开平 5-288623号或者特开平10-111206号。又例如特开平D-240500公报中发表了预先在极板间设置不连续的等高的间隔墩。然后在间隔墩外围涂覆熔点低于间隔墩的熔结物，在适当温度下熔化熔结物，将两基板粘结在一起，可以精确控制极板距离，但有一个缺陷，熔结物在熔化时会从隔离墩之间流入另一侧，固化后导致支撑基极膜片的支点距离不均匀，难以获得均匀的检测精度。再例如，中国专利03131277. 2，针对上述间隔墩不连续...
【技术保护点】
一种陶瓷电容式压力传感器，由相互平行的陶瓷盖板和陶瓷基板在相对的表面设置平板电极，陶瓷盖板和基板之间夹有隔离墩，陶瓷盖板和基板以及隔离墩烧结在一起，其特征在于：上述隔离墩是由环形的LTCC陶瓷薄膜制成，薄膜的厚度为20～50微米，围绕在电极周围。
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷电容式压力传感器，由相互平行的陶瓷盖板和陶瓷基板在相对的表面设置平板电极，陶瓷盖板和基板之间夹有隔离墩，陶瓷盖板和基板以及隔离墩烧结在一起，其特征在于上述隔离墩是由环形的LTCC陶瓷薄膜制成，薄膜的厚度为20 50微米，围绕在电极周围。2.根据权利要求I所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于上述环形的LTCC陶瓷薄膜(生片)夹在陶瓷盖板和陶瓷基板之间，用夹具夹紧，再用热压或者热等静压的方法使之初步连接在一起，施加的压力为5 30Mpa，加热温度60 80°C，持续时间5 20分钟，然后将温度调升至450 550°C，保持60 90分钟，排除LTCC生陶瓷片中的有机溶齐U，再升温到800 900°C，保温30 60...
【专利技术属性】
技术研发人员：邬若军，
申请(专利权)人：深圳市安培盛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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