下载一种陶瓷电容式压力传感器的技术资料

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一种陶瓷电容式压力传感器,涉及静电电容式压力传感器及其制造工艺。目前,静电电容式压力传感器是在两片陶瓷基板的表面分别设置平板电极,使两电极隔开一个微小的间隙平行相对,并将两片平行陶瓷基板固定为一体,构成一个平板电容器,通过测试压力下电容的变...
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