外力检测装置和外力检测传感器制造方法及图纸

技术编号:8130124 阅读:199 留言:0更新日期:2012-12-27 01:37
本发明专利技术提供以简单的结构高精度地检测施加在压电板的外力的外力检测装置和外力检测传感器。在容器内单臂支撑晶体板。在晶体板的上表面和下表面分别形成有激励电极。在晶体板的下表面侧的前端部形成有与下表面侧的激励电极通过引出电极连接的可动电极,与该可动电极相对地在容器的底部设置有固定电极。将上表面侧的激励电极和固定电极与振荡电路连接。对晶体板施加外力弯曲时,可动电极与固定电极之间的电容改变,掌握该电容变化作为晶体板的振荡频率的变化。进而在晶体板中,通过使薄状部位的厚度与被激励电极夹着的电极形成部位的厚度相比小,能够抑制电极形成部位的弯曲,因此能够抑制由晶体板的弯曲引起的振荡频率的变化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用压电板例如晶体板并且基于振荡频率检测作用于压电板的外力的大小,因而检测加速度、压力、流体的流速、磁力或静电力等外力的

技术介绍
作为作用于系统的外力,有基于加速度作用于物体的力、压力、流速、磁力、静电力等,需要正确地测定这些外力的情况较多。例如在开发机动车的阶段会对当机动车与物体碰撞时座位的冲击力进行测定。此外,为了调查地震时的振动能和振幅要求尽量精密地调查晃动的加速度等。进而,还能够列举正确地调查液体和气体的流速并将其检测值反映到控制系统的 情况、或测定磁铁的性能的情况等作为外力的测定例。进行这样的测定时,对于测定装置要求是尽可能简单的结构且尽可能高精度地进行测定。在专利文献I中记载了 用单臂(悬臂)支撑压电膜,并且压电膜因周围的磁力的变化而变形,流过压电膜的电流变化。此外,在专利文献2中记载了 设置电容耦合型的压力传感器和对于该压力传感器的配置区域被划分的空间中配置的晶体振子,使上述压力传感器的可变电容与晶体振子并联连接,并且通过压力传感器的电容变化使晶体振子的反共振点改变,由此检测出压力。上述专利文献I和专利文献2,与本专利技术的原理完全不同。现有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外力检测装置,检测作用于压电板的外力,其特征在于,具备:一端一侧被容器内的基座支撑的单臂式的所述压电板;为了使所述压电板振动而在所述压电板的一面侧和另一面侧分别设置的一个激励电极和另一个激励电极;与一个激励电极电连接的振荡电路;设置于所述压电板的另一端一侧、并且与所述另一个激励电极电连接的可变电容形成用的可动电极;固定电极,其与所述压电板隔开距离,设置为与所述可动电极相对,并且与所述振荡电路连接,通过由所述压电板的弯曲导致其与所述可动电极之间的电容变化而形成可变电容;和频率信息检测部,其用于检测作为与所述振荡电路的振荡频率对应的频率信息的信号,所述压电板,与被所述激励电极夹着的部位的厚度相...

【技术特征摘要】
2011.06.24 JP 2011-1405731.一种外力检测装置,检测作用于压电板的外力,其特征在于,具备 一端一侧被容器内的基座支撑的单臂式的所述压电板; 为了使所述压电板振动而在所述压电板的一面侧和另一面侧分别设置的一个激励电极和另一个激励电极; 与一个激励电极电连接的振荡电路; 设置于所述压电板的另一端一侧、并且与所述另一个激励电极电连接的可变电容形成用的可动电极; 固定电极,其与所述压电板隔开距离,设置为与所述可动电极相对,并且与所述振荡电路连接,通过由所述压电板的弯曲导致其与所述可动电极之间的电容变化而形成可变电容;和 频率信息检测部,其用于检测作为与所述振荡电路的振荡频率对应的频率信息的信号, 所述压电板,与被所述激励电极夹着的部位的厚度相比,该部位与所述可动电极之间的部位的厚度小, 形成从所述振荡电路经过一个激励电极、另一个激励电极、可动电极和固定电极后返回振荡电路的振荡环路, 由所述频率信息检测部检测出的频率信息...

【专利技术属性】
技术研发人员:小山光明武藤猛岩井宏树市川了一
申请(专利权)人:日本电波工业株式会社
类型:发明
国别省市:

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