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外力检测装置和外力检测传感器制造方法及图纸
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下载外力检测装置和外力检测传感器的技术资料
文档序号:8130124
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本发明提供以简单的结构高精度地检测施加在压电板的外力的外力检测装置和外力检测传感器。在容器内单臂支撑晶体板。在晶体板的上表面和下表面分别形成有激励电极。在晶体板的下表面侧的前端部形成有与下表面侧的激励电极通过引出电极连接的可动电极,与该可动...
该专利属于日本电波工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电波工业株式会社授权不得商用。
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