利用非交联的光-或热-可交联的聚合物层进行金属水平激光烧蚀来减少帽状突起的影响制造技术

本发明专利技术涉及激光-可交联材料（10）的使用，所述激光-可交联材料是非交联或部分交联的，用于在激光蚀刻过程中保护有机晶体管的电极。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本文涉及有机电子领域，特别是电阻器，电容器，二极管，晶体管等的制造。在实践中，它对于金属水平的蚀刻的步骤中造成的表面退化提供了一种解决方案。它在蚀刻步骤中提供了一种更为具体的应用方案，即通过有机电子电极的准分子型激光烧蚀。
技术介绍
准分子的方法，该方法可通过图I中所示出的设备进行实施，能够构造和形成通过罩子(I)的突出而获得的图案。通过穿过由玻璃以及铝制成的罩子(I)的UV光束(3，准分子)和层表面(基板，2)之间的交互作用实现基板(2)的烧蚀。 准分子激光是一种气体激光，在紫外线波长范围内以脉冲模式发射，根据所用的混合气体在193和351纳米之间。混合气体由一种稀有气体G (気气,氣气,氪)和齒代化合物X (F2，盐酸)组成。激发，无论是电子的还是电子束，都导致形成了受激分子GX*。传输的能量大约一焦耳，脉冲持续时间从10到150毫微秒不等，而频率可以达到I千赫。高能准分子能量源出现在1992年(P平均从500到1，000W)，为其用于表面处理开辟了道路。准分子激光具有特定的优点具有高光子能(几个eV)能够实现光化学效应，具有亚微细粒的空间分辨率的处理能力，和非常有限的热效应，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：玛丽·埃茨曼，穆罕默德·本韦迪，
申请(专利权)人：原子能和代替能源委员会，
类型：
国别省市：