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利用非交联的光-或热-可交联的聚合物层进行金属水平激光烧蚀来减少帽状突起的影响制造技术
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文档序号:8304182
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本发明涉及激光-可交联材料(10)的使用,所述激光-可交联材料是非交联或部分交联的,用于在激光蚀刻过程中保护有机晶体管的电极。...
该专利属于原子能和代替能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过原子能和代替能源委员会授权不得商用。
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