基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器。该传感器包括光学匹配系统，第一微柱透镜阵列，第二微柱透镜阵列；还包括分光镜，第一光电探测器和第二光电探测器；光学匹配系统用于将入射光波扩束，使入射光波的尺寸匹配微柱透镜阵列的通光口径；第一和第二微柱透镜阵列将入射光波分割成多束子光波，并分别聚焦到位于其焦平面的光电探测器靶面上。将第一光电探测器采集的图像与第二光电探测器采集的图像进行正交融合叠加，形成连续的网格状聚焦线斑。本发明专利技术在保证测量精度的前提下克服了传统哈特曼波前传感器的测量动态范围小的缺点，可广泛应用于大像差波前的探测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学波前传感器，特别是一种基于微柱透镜阵列的大动态测量范围的哈特曼波前传感器，属于光学检测领域。
技术介绍
哈特曼波前传感器是一种有效的光学动态波前检测仪器。它广泛应用人眼波前像差探测，高功率波前像差检测和各种光束质量综合检测，尤其是在人眼波前像差探测领域中，对自适应光学检眼镜、个性化隐形眼镜、个性化激光角膜手术都具有重要的指导意义。传统的哈特曼波前传感器通常选用微透镜阵列实现波面分割。当入射光波为平行光时，所有子光束均聚焦在相应微透镜的光轴上；当入射光波存在波前畸变，他们在焦平面上形成的光斑便会偏离相对应的光轴，产生一定的位移，通过判定光斑质心与参考质心的位置关系，获取入射光波波前正交方向上的斜率信息后，可重构待测入射光波波前分布情况。 传统哈特曼波前传感器的动态测量范围由微透镜阵列的子透镜的通光孔径和焦距所决定，即微透镜阵列的子孔径将光电探测器的靶面分隔成相应的子区域，当入射光波存在大像差时，有些聚焦光斑会超出其对应子区域的范围，进而无法进行正确的识别，对精确地重构波前像差造成了影响。在实际的光学检测中，哈特曼波前传感器应在保证高精度的测量前提下，尽可能地提高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器，包括光学匹配系统(1)、第一微柱透镜阵列(3)和第二微柱透镜阵列(5)、分光镜(2)、第一光电探测器(4)和第二光电探测器(6)；其特征在于光学匹配系统(1)之后添加一个分光镜(2)，在分光镜(2)的透射端放置第一微柱透镜阵列(3)和第一光电探测器(4)，在分光镜(2)的反射端放置第二微柱透镜阵列(5)和第二光电探测器(6)；所述的光学匹配系统(1)对入射光波进行扩束，使入射光波的尺寸匹配微柱透镜阵列的通光孔径；所述的微柱透镜阵列实现波前孔径分割；所述的分光镜(2)将入射光波分为两束，一束经过第一微柱透镜阵列(3)后形成聚焦线斑阵列，聚焦线斑阵列被位于第...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓苹，史光远，马华，
申请(专利权)人：天津理工大学，
类型：发明
国别省市：