混合集成面阵液晶微透镜与红外探测器的波前测量芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种混合集成面阵液晶微透镜与红外探测器的波前测量芯片，包括陶瓷外壳和金属散热板，陶瓷外壳后部设置于金属散热板顶部，还包括驱控与波前预处理模块、面阵非制冷红外探测器、以及面阵电控液晶微透镜，驱控与波前预处理模块、面阵非制冷红外探测器、以及面阵电控液晶微透镜同轴顺序设置于陶瓷外壳内，驱控与波前预处理模块设置于陶瓷外壳后部与金属散热板连接处，面阵非制冷红外探测器设置于驱控与波前预处理模块顶部，每单元电控液晶微透镜与多个顺序排列的非制冷红外探测器构成的子红外探测器阵列对应。本发明专利技术结构紧凑，使用方便，覆盖多个红外谱段，具有红外波前的测量范围大、精度高、目标与环境适应性好等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于红外成像探测
，更具体地，涉及一种混合集成面阵液晶微透镜与红外探测器的波前测量芯片。
技术介绍
随着红外光学/光电图像模拟、仿真、显示和成像探测技术的迅速发展，高精度测量目标、景物的红外辐射波前信息，获得与目标运动特征或复杂背景相关的红外波前的迁移、演化、扰动甚至畸变行为，目前受到了广泛关注和重视。迄今为止，已发展了多种波前获取方法，在测量波前物理效应基础上，通过特定算法解算测量数据从而反演出波前。关键性的波前测量组件则经历了从体积质量功耗较大的组合装置，进一步小型化，以及 目前的芯片化这样的转变。波前的测量精度得到逐步提高，测量范围逐渐扩大，测试环境从实验室进一步扩展到了野外场所。基于SH (Shack-Hartmann)波前测量效应的折射/衍射微透镜阵列与面阵探测器已实现混合、单片集成。所测量的电磁波谱从可见光进一步扩展到了红外谱域。尽管如此，现有基于SH效应的波前测量芯片具有下述缺陷(一)芯片仍需配置体积和功耗较大的驱控和光电信息预处理装置；(二)无可调变波前测量能力，无法根据目标的辐射、运动及背景情况，增大或减小子平面波前倾角的测量范围，也就是目标波前的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种混合集成面阵液晶微透镜与红外探测器的波前测量芯片，包括陶瓷外壳和金属散热板，所述陶瓷外壳后部设置于所述金属散热板顶部，其特征在于，还包括驱控与波前预处理模块、面阵非制冷红外探测器、以及面阵电控液晶微透镜；所述驱控与波前预处理模块、所述面阵非制冷红外探测器、以及所述面阵电控液晶微透镜同轴顺序设置于所述陶瓷外壳内；所述驱控与波前预处理模块设置于所述陶瓷外壳后部与所述金属散热板连接处；所述面阵非制冷红外探测器设置于所述驱控与波前预处理模块顶部；所述面阵电控液晶微透镜设置于所述面阵非制冷红外探测器顶部。每单元电控液晶微透镜与多个顺序排列的非制冷红外探测器构成的子红外探测器阵列对应，所述各子红外探测...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张新宇，佟庆，康胜武，桑红石，谢长生，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：