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基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器制造技术
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下载基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器的技术资料
文档序号:8299879
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本发明涉及一种基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器。该传感器包括光学匹配系统,第一微柱透镜阵列,第二微柱透镜阵列;还包括分光镜,第一光电探测器和第二光电探测器;光学匹配系统用于将入射光波扩束,使入射光波的尺寸匹配微柱透镜阵列的通光口径;第一和...
该专利属于天津理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津理工大学授权不得商用。
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