由球面布置微透镜阵列及球面探测器构成的哈特曼传感器制造技术

由球面布置微透镜阵列及球面探测器构成的哈特曼传感器属于光学测试仪器技术领域。现有哈特曼传感器扩大动态范围会降低测量精度。在本发明专利技术中，光路缩束系统与微透镜阵列同轴分布，光电探测器的感光面位于微透镜阵列的焦平面处，光电探测器与波前处理机电连接，所述微透镜阵列为球面布置微透镜阵列，所述光电探测器为球面探测器，球面布置微透镜阵列、球面探测器球面同心并位于点O，球面布置微透镜阵列中的每一个微透镜的光轴均与点O相交，并且，球面布置微透镜阵列的曲率半径r1和球面探测器的曲率半径r2的耦合关系为：，式中：n为微透镜的折射率，θ为与球面布置微透镜阵列同轴的微透镜和与其相邻的一个微透镜二者光轴夹角，f′为微透镜的焦距。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种由球面布置微透镜阵列及球面探测器构成的哈特曼传感器，属于光学测试仪器

技术介绍
哈特曼传感器是一种可动态测量、对环境要求低、测量精度高的传感器，主要用于各种波前测量仪器。现有哈特曼传感器是由光路缩束系统、微透镜阵列、光电探测器以及波前处理机组成。光路缩束系统与微透镜阵列同轴分布，光电探测器的感光面位于微透镜阵列的焦平面处，由光电探测器输出的信号传输给波前处理机，由波前处理机处理后得到实时波前复原数据。动态范围是设计和使用哈特曼传感器的一个非常重要的特征参数。哈特曼传感器动态范围的含义为，不使被测波前经过微透镜阵列聚焦后的焦点溢出它所对应的 子孔径时所能测量得到的被测波前最大局部波前斜率。扩大哈特曼传感器动态范围的措施是通过减少哈特曼传感器的子孔径数目，或者使用短焦距微透镜阵列和大靶面光电探测器，不过这些措施会降低哈特曼传感器的测量精度。在实际设计哈特曼传感器时，为了获得大的动态范围，不得不牺牲测量精度。另外，短焦距微透镜阵列加工和装调难度较大，大靶面光电探测器价格较高。
技术实现思路
本专利技术其目的在于扩大哈特曼传感器动态范围，同时保证哈特曼传感器测量精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种由球面布置微透镜阵列及球面探测器构成的哈特曼传感器，由光路缩束系统（1）、微透镜阵列、光电探测器以及波前处理机（2）组成，光路缩束系统（1）与微透镜阵列同轴分布，光电探测器的感光面位于微透镜阵列的焦平面处，光电探测器与波前处理机（2）电连接，其特征在于，所述微透镜阵列为球面布置微透镜阵列（3），所述光电探测器为球面探测器（4），球面布置微透镜阵列（3）、球面探测器（4）球面同心并位于点O，球面布置微透镜阵列（3）中的每一个微透镜的光轴均与点O相交，并且，球面布置微透镜阵列（3）的曲率半径r1和球面探测器的曲率半径r2的耦合关系为：r2=r1+f′1-cosθnn2-...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘妍，付跃刚，刘智颖，马辰昊，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：