【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及生长炉
，特别涉及一种碳化硅晶体生长炉控制系统。
技术介绍
目前工业自动化控制一般采用PLC控制，PLC面向直接控制，主要用于大型设备，开发简单，成本较高。而ARM偏向弱电控制，只有装上操作系统后才能发挥到它的实力，大多数用于消费类电子产品，开发难度大，价格低廉。随着工业技术的发展，这些控制器之间的界限也越来越模糊。根据实际的工作要求来选择合适的控制器
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种碳化硅晶体生长炉控制系统，可有效的提供生长炉的工作效率，减低生产成本。(二)技术方案本专利技术提供一种碳化硅晶体生长炉控制系统，包括ARM控制器和受所述ARM控制器控制的压力控制器、温度控制器、运动控制器和报警器；压力控制器采集炉内压力数据并将压力数据传送到ARM控制器；温度控制器采集炉内温度值并将炉内温度值传送到ARM控制器；运动控制器用于通过步进电机控制加热线圈和坩埚轴的升降运动；报警器当温度和压力超出设定值范围时用于报警提示。其中，所述压力控制器包括PC机、压力检测控制电路、变频器和机械泵，所述压...
【技术保护点】
一种碳化硅晶体生长炉控制系统，其特征在于，包括：ARM控制器和受所述ARM控制器控制的压力控制器、温度控制器、运动控制器和报警器；压力控制器：采集炉内压力数据并将压力数据传送到ARM控制器；温度控制器：采集炉内温度值并将炉内温度值传送到ARM控制器；运动控制器：用于通过步进电机控制加热线圈和坩埚轴的升降运动；报警器：当温度和压力超出设定值范围时用于报警提示。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄鸣，丁文革，谭三成，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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