本发明专利技术公开了一种膜缺陷检查装置，其是检测长膜的缺陷的检查装置，其特征在于，该检查装置具有：在上述膜的一侧表面侧照射上述膜的照明机构；设置在上述照明机构与上述膜之间的第1偏振片；设置在上述膜的另一侧表面侧的第2偏振片；设置在上述膜的另一侧表面侧、接受从上述照明机构照射并透过了上述第1偏振片、上述膜和上述第2偏振片的透过光的受光机构，并且该检查装置具有分别单独地在上述第1偏振片的面内调整上述第1偏振片的角度、在上述第2偏振片的面内调整上述第2偏振片的角度的角度调整机构。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术属于简易且容易地进行被检查膜的光学缺陷检查、特别是在偏振片制造工序所用的偏振片脱模膜的偏振片加工处理前连续进行缺陷检查的偏振片脱模膜的缺陷检查装置和缺陷检查方法的
技术介绍
近年来，与以往的显示器CRT相比具有薄型轻量化、耗电低、高画质化这些优点的液晶显示器(LCD)的需求急速扩大，特别是大画面监视器、32英寸以上这种大画面TV用途的LCD急速发展。大多数情况下伴随LCD的大画面化，通过提高背光源的亮度、或加入使亮度提高的功能性膜等，设置成在大画面下也充分确保了亮度的LCD。这种高亮度型的LCD大多数情况下由于亮度高，所以显示器中存在的小缺陷成为问题，在偏振片、相位差板这种具有光学特性的构成部件中，对于以前的LCD不成为问题的尺寸缺陷成为了问题。因此，要防·止各光学部件的制造工序中产生缺陷，另一方面，对于即使产生缺陷也可确实认识到缺陷这样的检查性的提高也变得尤为重要。偏振片的缺陷检查一般采用基于正交尼科耳法的目视检查，在用于32英寸以上这种大画面TV的偏振片中，对通过利用正交尼科耳法的自动检查器进行的检查也做了各种研究。所述正交尼科耳法是使两片偏振片的取向主轴正交地做成暗视野，在两偏振片中间夹上膜等测定对象物，在透过光下观察的方法。通过正交尼科耳配置，假设不存在缺陷，则从摄像部输入全黑图像，而存在缺陷时，该部分不变黑。即，由于偏振片中存在异物或缺陷时作为亮点表现出来，所以可以进行缺陷检查。此处，在偏振片上通过粘合剂层贴合有作为脱模膜的经单轴或双轴拉伸的取向聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，因而该脱模膜的光学缺陷增多时，脱模膜的亮点增多，成为缺陷检查的障碍。迄今为止，已知脱模膜中的异物和表面瑕疵会成为缺陷检查时的亮点。然而，取向膜从薄膜化的观点考虑其制法也是有利的，但由于具有由拉伸导致的取向所引起的双折射(相位差)，所以入射的直线偏振光透过后形成椭圆偏振光，实质上没有形成正交尼科耳状态。即，仅使两片偏振片正交时，被输入摄像部的可见光的受光量会受到膜双折射的影响。在通过拉伸制造的膜中，如专利文献I的公开所示，相对于拉伸端部，中央部被延迟拉伸，导致产生弓形(bowing)现象。这是由下述原因引起的现象通过在握持着端部的状态下的加热拉伸，所制造的膜的中央部因自重或热收缩应力而相对于重力方向或制造工序的行进方向被拉伸而下垂，由此工序内的膜构成悬垂线(垂曲线，Catenary曲线)。因此，与专利文献I中的二色性相同，取向膜的双折射在膜宽度方向上是不同的。其结果产生如下问题根据膜制造时的宽度方向上的位置的不同，在膜的中央部和端部存在无法以良好的精度对膜中存在的缺陷进行检查的部位。作为解决了所述问题的膜的缺陷检测装置，已知下述专利文献2所公开的检查装置。该缺陷检查装置是这样的装置在光源与摄像部之间的光路上具有检查用偏振片，将膜的双折射(相位差)取消，因而以被输入摄像部的可见光的受光量变为最小值的方式调整检查用偏振片的相对角度位置，从而以正交尼科耳状态检查带偏振片的膜中的缺陷。然而，上述专利文献2中，在检查宽度方向上具有双折射偏差的膜的情况下，需要在宽度方向具有多个摄像部和偏振片。根据本专利技术人等的认识，此时，仅调整偏振片角度以使被输入摄像部的可见光受光量变为最小值，难以在每个摄像部位置上、即宽度方向上获得均匀的受光量，例如，在膜宽度方向上膜端部和中央部的受光量程度产生差值。因此，在检查宽度方向上具有双折射偏差的膜的情况下，无法同时以良好的精度进行缺陷检查。进而，根据本专利技术人等的认识，造成大的光量变化的缺陷姑且不谈， 仅造成小的光量变化的缺陷的情况下，当以正交尼科耳检查时的视野变得最暗的方式配置偏振片时，对比度差更小，难以检测。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特公昭39-029214号公报专利文献2 :日本特开2007-213016号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于提供一种缺陷检查装置，其对于膜宽度方向上具有双折射偏差的膜也可以高精度地进行缺陷检查，并且缺陷部与正常部的对比度大，可高精度地进行检查。解决课题的方法为了达成上述目的，根据本专利技术，提供一种膜缺陷检查装置，其是检测具有一定宽度的长条状膜的缺陷的检查装置，其特征在于，该检查装置具有照明机构，在所述膜的一侧表面侧照射所述膜；第I偏振片，设置在所述照明机构与所述膜之间；第2偏振片，设置在所述膜的另一侧表面侧；受光机构，设置在所述膜的另一侧表面侧，接受从所述照明机构照射并透过了所述第I偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透过光，并且该膜缺陷检查装置具有分别单独地在所述第I偏振片的面内调整所述第I偏振片的角度、在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度的角度调整机构。另外，根据本专利技术的优选方式，提供一种膜缺陷检查装置，其特征在于，在所述膜的宽度方向配置有多个所述第2偏振片和所述受光机构，所述第2角度调整机构分别设置在所述多个第2偏振片上。另外，根据本专利技术的优选方式，提供一种膜缺陷检查装置，其特征在于，在所述第I面内调整所述第I偏振片角度的角度调整机构具有在使所述第I偏振片旋转时作为支点发挥作用的轴、和以所述第I偏振片的端部为施力点大致在旋转方向进行推拉的直动机构。另外，根据本专利技术的优选方式，提供一种膜缺陷检查装置，其特征在于，以1°以下的旋转精度至少在-8° +8°的范围对所述第I、第2偏振片的角度进行调整。另外，根据本专利技术的另外的方式，提供一种膜缺陷检查方法，其是检测具有一定宽度的长条状膜的缺陷的缺陷检查方法，其特征在于，通过设置在所述膜的一侧表面侧的照明机构照射所述膜，照明机构，在所述膜的一侧表面侧照射所述膜;第I偏振片，设置在所述照明机构与所述膜之间；第2偏振片，设置在所述膜的另一侧表面侧；受光机构，设置在所述膜的另一侧表面侧，接受从所述照明机构照射并透过了所述第I偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透过光，并且该膜缺陷检查装置具有分别单独地在所述第I偏振片的面内调整所述第I偏振片的角度、在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度的角度调整机构。另外，根据本专利技术的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，在所述膜的宽度方向配置多个所述第2偏振片和所述受光机构，相应于配置位置而单独地调整所述第2偏振片的角度。另外，根据本专利技术的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，当在所述第I面内调整所述第I偏振片的角度时，通过在使所述第I偏振片旋转时作为支点发挥作用的轴和以所述第I偏振片的端部为施力点在大致旋转方向推拉的直动机构，以1°以下 的旋转精度对偏振片角度进行微调。另外，根据本专利技术的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，在上述膜的待检区域中，以使所述受光机构中的受光量在256灰度下为10 30的范围的方式错开所述第I、第2偏振片的角度来进行检查。另外，根据本专利技术的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，在上述膜的待检区域中，以使所述受光机构中的受光量在256灰度下为30 50的范围的方式错开所述第I、第2偏振片的角度来进行检查。另外，根据本专利技术的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，在上述膜的待检区域中，在使所述第I、第2偏振片的角度相对于所述受光机构中的受光量成为最小值的状态错开I 2°的范围的状本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.05.25 JP 2010-1192201.一种膜缺陷检查装置，其是检测长条状膜的缺陷的检查装置，其特征在于，该检查装置具有 照明机构，在所述膜的一侧表面侧照射所述膜； 第I偏振片，设置在所述照明机构与所述膜之间； 第2偏振片，设置在所述膜的另一侧表面侧； 受光机构，设置在所述膜的另一侧表面侧，接受从所述照明机构照射并透过了所述第I偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透过光， 并且该膜缺陷检查装置具有分别单独地在所述第I偏振片的面内调整所述第I偏振片的角度、在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度的角度调整机构。2.如权利要求I所述的膜缺陷检查装置，其特征在于，在所述膜的宽度方向配置有多个所述第2偏振片和所述受光机构，所述第2角度调整机构分别设置在所述多个第2偏振片上。3.如权利要求I或2所述的膜缺陷检查装置，其特征在于，在所述第I面内调整所述第I偏振片角度的角度调整机构具有在使所述第I偏振片旋转时作为支点发挥作用的轴、和以所述第I偏振片的端部为施力点大致在旋转方向进行推拉的直动机构。4.如权利要求I 3中任一项所述的膜缺陷检查装置，其特征在于，以1°以下的旋转精度至少在-8° +8°的范围对所述第I、第2偏振片的角度进行调整。5.一种膜缺陷检查方法，其是检测长条状膜的缺陷的缺陷检查方法，其特征在于，通过设置在所述膜的一侧表面侧的照明机构照射所述膜，在所述照明机构与所述膜之间设置第I偏振片，在所述膜的另一侧表面侧设置第2偏振片，通过设置在所述膜的另一侧表面...
【专利技术属性】
技术研发人员：植木克行，宫原和久，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：
国别省市：
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