下载膜缺陷检查装置、缺陷检查方法和脱模膜的技术资料

文档序号:8292230

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本发明公开了一种膜缺陷检查装置,其是检测长膜的缺陷的检查装置,其特征在于,该检查装置具有:在上述膜的一侧表面侧照射上述膜的照明机构;设置在上述照明机构与上述膜之间的第1偏振片;设置在上述膜的另一侧表面侧的第2偏振片;设置在上述膜的另一侧表面...
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