【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体
的夹持装置，特别是涉及一种旋转薄片盘状物夹持装置。
技术介绍
薄片盘状物卡盘在领域内应用最多的是销夹盘、伯努利吸盘等。在公开号为CN101587851的专利中公开了一种利用离心力将薄片盘状物卡紧，利用磁铁的排斥力来打开晶片的装置。在美国专利US5513668和US4903717中公开了一种利用伯努利原理将薄片盘状物固定的卡盘，其利用伯努利原理在卡盘和薄片盘状物之间形成一层气垫，利用气垫来保持薄片盘状物，通过分布在薄片盘状物圆周的夹持元件来实现径向定位。但是这些技 术都有一个缺点在高速或者超高速旋转时，由于离心力和向心力的互相增强，导致夹持装置对薄片盘状物的夹紧力越来越大或者越来越小，进而产生夹碎薄片盘状物或者薄片盘状物飞出的现象。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是如何避免夹持高速旋转薄片盘状物过程中出现的薄片盘状物飞出或者被夹碎的现象出现。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供一种旋转薄片盘状物夹持装置，包括旋转丝杠、竖直升降块、水平移动块、顶部固定块、卡爪和水平滑动轨道，其中，所述卡爪安装在所述水平移动块...
【技术保护点】
一种旋转薄片盘状物夹持装置，其特征在于，包括旋转丝杠（2）、竖直升降块（3）、水平移动块（4）、顶部固定块（6）、卡爪（7）和水平滑动轨道（11），其中，所述卡爪（7）安装在所述水平移动块（4）上，所述水平移动块（4）安装在所述水平滑动轨道（11）上，所述竖直升降块（3）和顶部固定块（6）安装在旋转丝杠（2）上，所述水平滑动轨道（11）安装在所述顶部固定块（6）上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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