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本实用新型涉及半导体技术领域的夹持装置，具体公开了一种旋转薄片盘状物夹持装置，包括旋转丝杠、竖直升降块、水平移动块、顶部固定块、卡爪和水平滑动轨道，其中，所述卡爪安装在所述水平移动块上，所述水平移动块安装在所述水平滑动轨道上，所述竖直升降块...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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