【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于真空机械手的直接驱动电动机，具体说就是一种专用于半导体设备中真空机械手的内转子三相永磁同步电动机，适用于直接驱动多轴机械手。
技术介绍
半导体行业中，真空机械手实现将动力从大气环境传输到真空环境，传统的真空机械手具有多个关节，每个关节布置有电机驱动装置，机械手末端轨迹为多个关节的运动合成。国外上一代真空机械手借助磁性联轴器实现伺服电机与真空轴系之间连接。传统的机械手末端在传输时数据计算量大，传统的电机驱动装置结构松散，精度低，控制性差，难以满足真空机械手高速、高精度、大转矩、小型化的发展需求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种大间隙直接驱动的电机，运用交流伺服驱动器对电机进行控制，无需中间减速环节就能够直接实现对末端部件的转矩转速控制，定转子间有真空隔离套，因此采用大间隙磁路设计。为了达到上述目的，本专利技术的技术方案是提供一种用于真空机械手的直接驱动电动机，所述电动机包括定子、转子，以及传感器；其中，所述转子置于真空环境中，并且与真空环境内的机械手的传动轴直接连接，而所述定子置于大气环境，所述定子与转子之间的气隙> I. 5mm，在定...
【技术保护点】
一种用于真空机械手的直接驱动电动机，其特征在于，所述电动机包括：定子（2）、转子（1），以及传感器；其中，所述转子（1）置于真空环境中，并且与真空环境内的机械手的传动轴直接连接，而所述定子（2）置于大气环境，所述定子（2）与转子（1）之间的气隙≥1.5mm，在定转子间设置有不导磁的真空隔离套3。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空机械手的直接驱动电动机，其特征在于，所述电动机包括定子(2)、转子(1)，以及传感器；其中，所述转子(I)置于真空环境中，并且与真空环境内的机械手的传动轴直接连接，而所述定子(2)置于大气环境，所述定子(2)与转子(I)之间的气隙^ I. 5mm,在定转子间设置有不导磁的真空隔离套3。2.如权利要求I所述的电动机，其特征在于，所述定子(2)与转子(I)之间的气隙为I. 5mm 3mmο3.如权利要求I或2所述的电动机，其特征在于，所述真空隔离套(3)的厚度为O.5mm Imm04.如权利要求I所述的电动机，其特征在于，所述电动机使用增量式的光电编码器作为传感器，其光学码盘的每圈线数为5000线。5.如权利要求I所述的电动机，其特征在于，所述电动机的转子(I)和定子(2)采用分数槽的极槽配合，以减小电动机的输出转矩波动；所述转子(I)的磁极数为26极；所述定子(2)的铁芯槽数为27槽，槽口宽度为1.5mm。6.如权利要求I或...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘品宽，
申请(专利权)人：上海微泓自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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