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本发明涉及一种用于真空机械手的直接驱动电动机，将电机转子置于真空环境中，电机转子与运动载体直接连接实现直接驱动，中间省去了减速机构；将定子置于大气环境中，并在电机定转子之间用真空隔离套隔开。本发明实现结构简单，精度高，转矩大，启动转矩低。本...
该专利属于上海微泓自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微泓自动化设备有限公司授权不得商用。

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