电子部件搬运装置以及电子部件搬运方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及电子部件搬运装置以及电子部件搬运方法。具备：第1拍摄部，其对具备第1面以及第2面的电子部件的第1面进行拍摄来形成第1图像；第2拍摄部，其对第2面进行拍摄来形成第2图像；把持部，其把持电子部件；可动部，其使把持部移动；控制装置，其使用第1图像来检测第1面的位置、且使用第2图像来检测第2面的位置，并对把持部、可动部进行控制，把持部使用控制装置所检测出的第1面的位置的信息使把持部与第1面的相对位置成为规定的相对位置来把持电子部件（1），可动部使用控制装置所检测出的第2面的位置的信息，将第2面移动至规定的位置。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子部件搬运装置以及电子部件搬运方法，特别是关于电子部件的定位的专利技术。
技术介绍
在检查电子部件时，使探针与电子部件的电极抵接来传输电信号。伴随着电子部件的高密度化，电极的密度变高，需要相对于探针位置精确地配置电子部件。搬运该电子部件并使该电子部件与探针抵接的装置是电子部件搬运装置。而且，电子部件搬运装置中使电子部件的电极与探针正确地抵接在维持适当的检查方面特别重要。近年来，电子部件被小型化以及高集成化，在电子部件的下表面以及上表面这两面分别设置电极。进而在电子部件的上表面层叠其他电子部件的结构的电子部件成为检查 对象的情况也较多。将这种结构的电子部件称为堆叠封装(POP)。在该层叠结构的电子部件中也在电子部件的下表面以及上表面这两面分别设置电极。在专利文献I公开了使具有微小间隔的电子部件的电极与检查用插头的接触端子正确地连接的技术的一个例子。由此，在把持电子部件的把持侧臂具备限制/非限制切换机构，从下部拍摄把持的电子部件。另外，通过由与把持侧臂不同的其它的单元构成的位置修正机构，基于其拍摄结果进行电子部件的位置修正，通过限制/非限制切换机构在该被修正后的位置使电子部件相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备：拍摄部，其对具备第1面以及第2面的电子部件的所述第1面进行拍摄来形成第1图像，并对所述第2面进行拍摄来形成第2图像；把持部，其把持所述电子部件；可动部，其使所述把持部移动；控制部，其使用所述第1图像来检测所述第1面的位置，且使用所述第2图像来检测所述第2面的位置，并对所述把持部、所述可动部进行控制，使用所述控制部所检测出的所述第1面的位置的信息，所述把持部使所述把持部与所述第1面的相对位置成为规定的相对位置并把持所述电子部件，使用所述控制部所检测出的所述第2面的位置的信息，所述可动部将所述第2面移动至规定的位置。

【技术特征摘要】
2011.07.26 JP 2011-1629001.一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备 拍摄部，其对具备第I面以及第2面的电子部件的所述第I面进行拍摄来形成第I图像，并对所述第2面进行拍摄来形成第2图像； 把持部，其把持所述电子部件； 可动部，其使所述把持部移动； 控制部，其使用所述第I图像来检测所述第I面的位置，且使用所述第2图像来检测所述第2面的位置，并对所述把持部、所述可动部进行控制， 使用所述控制部所检测出的所述第I面的位置的信息，所述把持部使所述把持部与所述第I面的相对位置成为规定的相对位置并把持所述电子部件，使用所述控制部所检测出的所述第2面的位置的信息，所述可动部将所述第2面移动至规定的位置。2.根据权利要求I所述的电子部件搬运装置，其特征在于， 所述拍摄部拍摄所述把持部，所述控制部使用所述把持部的图像来检测所述把持部的位置，所述把持部使用所述控制部所检测出的所述把持部的位置的信息使所述把持部与所述第I面的相对位置成为规定的相对位置并把持所述电子部件。3.根据权利要求I或者2所述的电子部件搬运装置，其特征在于， 所述拍摄部对移动所述电子部件的预定的场所即移动预定场所进行拍摄，所述控制部使用所述移动预定场所的图像来检测所述移动预定场所的位置，所述把持部使用所述控制部所检测出的所述移动预定场所的位置的信息，将所述第2面移动至所述移动预定场所。4.根据权利要求I或2所述的电子部件搬运装置，其特征在于， 所述拍摄部具备对所述第I面进行拍摄的第I拍摄部、和对所述第2面进行拍摄的第2拍摄部。5.一种电子部件搬运方法，是把持部对具备第I面以及第2面的电子部件进行把持并搬运的电子部件搬运方法，其特征在于， 拍摄所述第I面来运算所述第I面的位置信息， 使用所述第I面的位置信息使所述把持部与所述第I面的相...

【专利技术属性】
技术研发人员：塩泽雅邦，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：