【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种太阳能电池片的生产设备，具体涉及一种板式PECVD所使用的C/C载板的挂钩设计。
技术介绍
板式PECVD (等离子体增强化学气相沉积法)工艺运行时，硅片通过载板上的挂钩定位后传送进入PECVD设备腔体完成镀膜工艺。现有的挂钩结构如图2、图3所示，在以“下成膜”方式的PECVD设备中，挂钩与载板的安装方式见图I。由于沉相气体是由下向上运动，在硅片下表面沉膜，因此在这个方向上挂钩会遮挡掉一部气体，因而在硅片表面相应部位造成沉膜不均，形成一个镀膜斑点(见图8b)，而且该镀膜斑点的面积大，从而影响电池片的外观质量。并且镀膜斑点在电池片的 有效区域内(镀膜斑点位于电池片的栅线内)，因此影响了电池片的质量和绝缘性能。同时由于挂钩与硅片的接触部分非常尖锐，且在沉膜的过程中一直与硅片牢牢接触，因而会造成在这个接触点上完全没有沉膜，从而造成电池片绝缘性能降低。同时挂钩与载板安装好后，拆卸挂钩时，容易损伤载板。
技术实现思路
本专利技术针对上述问题的不足，提出一种镀膜斑点偏离电池片的有效区域，而且斑点面积小、绝缘性能高，同时载板易拆卸安装的新型PECVD设备专用C/...
【技术保护点】
一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，其特征在于：包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片，且两个顶片相对设置；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定位的第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的方形框架的一支臂的低端向外设置有用于硅片的定位的第三挂钩；且第一挂钩、第二挂钩、第三挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向均与方形框架的顶端相背离。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：江苏荣马新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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