本发明专利技术涉及一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定位的第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的方形框架的一支臂的低端向外设置有用于硅片的定位的第三挂钩。本发明专利技术不仅镀膜斑点偏离电池片的有效区域，而且斑点面积小、绝缘性能高，同时载板易拆卸安装，不易受损伤。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种太阳能电池片的生产设备，具体涉及一种板式PECVD所使用的C/C载板的挂钩设计。
技术介绍
板式PECVD (等离子体增强化学气相沉积法)工艺运行时，硅片通过载板上的挂钩定位后传送进入PECVD设备腔体完成镀膜工艺。现有的挂钩结构如图2、图3所示，在以“下成膜”方式的PECVD设备中，挂钩与载板的安装方式见图I。由于沉相气体是由下向上运动，在硅片下表面沉膜，因此在这个方向上挂钩会遮挡掉一部气体，因而在硅片表面相应部位造成沉膜不均，形成一个镀膜斑点(见图8b)，而且该镀膜斑点的面积大，从而影响电池片的外观质量。并且镀膜斑点在电池片的 有效区域内(镀膜斑点位于电池片的栅线内)，因此影响了电池片的质量和绝缘性能。同时由于挂钩与硅片的接触部分非常尖锐，且在沉膜的过程中一直与硅片牢牢接触，因而会造成在这个接触点上完全没有沉膜，从而造成电池片绝缘性能降低。同时挂钩与载板安装好后，拆卸挂钩时，容易损伤载板。
技术实现思路
本专利技术针对上述问题的不足，提出一种镀膜斑点偏离电池片的有效区域，而且斑点面积小、绝缘性能高，同时载板易拆卸安装的新型PECVD设备专用C/C载板挂钩。本专利技术为解决上述技术问题提出的技术方案是一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片，且两个顶片相对设置；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定位的第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的方形框架的一支臂的低端向外设置有用于硅片的定位的第三挂钩；且第一挂钩、第二挂钩、第三挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向均与方形框架的顶端相背离。优选的所述斜坡面的表面呈阶梯状。优选的所述斜坡面与载板之间的倾斜角度为33° -35°。优选的所述固定杆均为上细下宽。优选的所述挂钩支架的底面为曲面。优选的所述挂钩支架的下部所有交接面均为圆弧过渡。优选的所述第一挂钩、第二挂钩均为S316不锈钢制作的挂钩。本专利技术的新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，相比现有技术，具有以下有益效果I.由于包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片，且两个顶片相对设置，因此在安装过程中，只需通过旋转顶片即可有效将第一、第二挂钩支架安装固定在载板上，因此安装或者拆卸过程中对载板的损伤小。2.由于所述第一挂钩支架的底侧的两端分别设置有第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的底侧的一端设置有第三挂钩，且第一挂钩、第二挂钩、第三挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向与挂钩支架的顶端相背离，因此使用时硅片只有其下边沿与挂钩接触，从而使得镀膜斑点偏离电池片的有效区域，且斑点面积也大为缩小，有利于提高电池片的质量，同时也大大改善了电池片绝缘性能。3.由于所述斜坡面的表面呈阶梯状，因此硅片在挂钩上不会滑动，大大方便了生产人员上下片的操作，同时减少了硅片在载板上脱钩的概率。4.由于所述固定杆均为上细下宽，上部的截面尺寸较小，因而较容易变形，方便了挂钩的安装固定。5.由于所述挂钩支架的底面为曲面，因此确保挂钩结构强度的前提下，能够减小·挂钩的截面积，因而提高腔内流的流动性，从而能够减小挂钩对工艺气流的影响。·6.由于所述挂钩支架的下部所有交接面均为圆弧过渡，因此能够避免挂钩因结构上有尖锐部分而产生高压放电。附图说明图I是现有的挂钩与载板的安装结构示意 图2是图I中3 '的结构示意图，其中图2a是图I中3 '的放大示意图，图2b是图2a的左视 图3是图I中4 '的结构示意图，其中图3a是图I中4 '的放大示意图，图3b是图3a的左视 图4是本专利技术实施例的结构示意 图5是图4中3的结构不意 图6是图4中4的结构示意 图7是图4中A部分的放大示意 图8是挂钩沉膜效果图，其中图8a是本专利技术挂钩沉膜效果图，图Sb现有挂钩沉膜效果 其中1为载板，2为娃片,3 '为现有第一挂钩,4 '为现有第二挂钩,3为第一挂钩支架，4为第二挂钩支架，5为顶片，31为第一挂钩，32为第二挂钩，41为第三挂钩，6为电池有效区域，7为电池无效区域，8为本专利技术挂钩沉膜效果，9为现有挂钩沉膜效果。具体实施例方式附图非限制性地公开了本专利技术一个优选实施例的结构示意图，以下将结合附图详细地说明本专利技术的技术方案。实施例本实施例的一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩如图4_6所示，用于硅片的定位，包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片，且两个顶片相对设置；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定位的第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的方形框架的一支臂的低端向外设置有用于硅片的定位的第三挂钩。如图5所示，所述第一挂钩支架的底侧的两端分别设置有第一挂钩、第二挂钩，且第一挂钩、第二挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向与挂钩支架的顶端相背离。如图6所示，所述第二挂钩支架的底侧的一端设置有第三挂钩，且第三挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向与挂钩支架的顶端相背离。为了硅片在挂钩上不会滑动，大大方便生产人员上下片的操作，同时减少硅片在载板上脱钩的概率，如图7所示，所述斜坡面的表面呈阶梯状， 所述斜坡面与载板之间的倾斜角度为33° -35°，当载板与水平线平行时，所述斜坡面与水平线之间的倾斜角度为33° -35°，优选所述斜坡面与水平线之间的倾斜角度为 34。。为了方便挂钩的安装固定，所述固定杆均为上细下宽。为了确保挂钩结构强度的前提下，能够减小挂钩的面积，从而能够减小挂钩对工艺气流的影响，所述挂钩支架的底面为曲面。为了能够避免挂钩因结构上有尖锐部分而产生高压放电，所述挂钩支架的下部所有交接面均为圆弧过渡。所述第一挂钩、第二挂钩均为S316不锈钢制作的挂钩。本实施例由于所述第一挂钩支架的底侧的两端分别设置有第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的底侧的一端设置有第三挂钩，且第一挂钩、第二挂钩、第三挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向与挂钩支架的顶端相背离，因此使用时硅片只有其下边沿与挂钩接触，从而使得镀膜斑点偏离电池片的有效区域，即镀膜斑点位于电池片最边沿的栅线外边，如图8b所示，现有挂钩沉膜效果图，镀膜斑点位于电池片的有效区域内(镀膜斑点位于电池片的栅线内)，且斑点面积大。图8a是本专利技术挂钩沉膜效果图，本专利技术的镀膜斑点偏离电池片的有效区域(镀膜斑点位于电池片最边沿的栅线外)，且斑点面积小于图8b中现有挂钩沉膜的镀膜斑点且斑点面积也大为缩小，有利于提高电池片的质量，同时也大大改善了电池片绝缘性能。上面结合附图所描述的本专利技术优选具体实施例仅用于说明本专利技术的实施方式，而不是作为对前述专利技术目的和所附权利要求内容和范围的限制，凡是依据本专利技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属本专利技术技术和权利保护范畴。权利要求1.一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，其特征在于包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，其特征在于：包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片，且两个顶片相对设置；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定位的第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的方形框架的一支臂的低端向外设置有用于硅片的定位的第三挂钩；且第一挂钩、第二挂钩、第三挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向均与方形框架的顶端相背离。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：江苏荣马新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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