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本发明涉及一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定...
该专利属于江苏荣马新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏荣马新能源有限公司授权不得商用。

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