氧化锌系导电性层合体及其制造方法以及电子器件技术

本发明专利技术提供氧化锌系导电性层合体(1)，其在基材(11)的至少一面上形成有底涂层(12)和透明导电膜(13)，其中，透明导电膜为由氧化锌系导电材料构成的透明导电层多层形成，且透明导电膜的载流子密度为2.0×1020～9.8×1020cm-3，氧化锌系导电性层合体，对直径15mm圆棒，以透明导电膜为内侧进行弯曲，弯曲前后的薄膜电阻值变化率在50以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及氧化锌系导电性层合体及其制造方法以及电子器件。
技术介绍
一直以来，使用ITO作为透明导电膜。但是，ITO由于使用稀有金属铟，因此，提出氧化锌系导电材料作为ITO的代替透明导电材料。例如，虽然已知在含有烯烃系树脂的透明基板上形成含有氧化锌的导电膜并形成光透过率较高的透明导电膜层合体(例如，参照专利文献I)，但专利文献I涉及的透明导电膜层合体，有时电阻值也不够低，且与ITO相比，在湿热条件下薄膜电阻值劣化。因此，已知在氧化镓-氧化锌系透明导电膜中，通过使定氧化镓的掺杂量非常多 及使厚度为400nm，控制湿热条件下的薄膜电阻值(例如，参照非专利文献I)。但是，需要形成400nm透明导电膜，生产率显著恶化。另外，非常多地掺杂氧化镓量，从原材料的成本方面考虑并不现实。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2008-226641号公报非专利文献I :APPLIED PHYSICS LETTERS 89, 091904(2006)另一方面，近年来，报道有在柔性薄膜基板上设置液晶或有机电致发光材料等为代表的柔性器件。作为用于柔性器件的电极，透明导电膜即ITO是代表性的。可是，如上所述，ITO将稀有金属铟作为主要成分，因此，希望提出一种ITO以外的材料。另外，在这样的柔性器件使用透明导电膜的情况下，也要求即使弯曲、在弯曲前后薄膜电阻值的变化小的特性即耐弯曲性，但是，具有得不到具有充分的耐弯曲性的透明导电膜的问题。
技术实现思路
专利技术要解决的课题因此，本专利技术的目的在于提供氧化锌系导电性层合体及其制造方法以及使用氧化锌系导电性层合体的电子器件，其解决了上述传统技术中的课题，其中含有具有氧化锌的透明导电膜，薄膜电阻低，且即使在湿热条件下放置后，薄膜电阻的变动也小，且耐弯曲性优异。用于解决课题的手段为了实现上述目的，本专利技术人等发现在透明导电膜的成膜工序中，通过对基材尽可能地降低所负载的温度，降低热收缩应力，可达到上述目的，完成本专利技术。即，根据本专利技术，提供下述⑴ (3)的氧化锌系导电性层合体。(I)本专利技术的氧化锌系导电性层合体为氧化锌系导电性层合体，其为在基材的至少一面形成有底涂层和透明导电膜的氧化锌系导电性层合体，其特征在于，所述透明导电膜通过形成多层包含氧化锌系导电材料的透明导电层而成，且该透明导电膜的载流子密度为2. OX 102° 9. 8X 102°cm_3，该氧化锌系导电性层合体相对于直径15mm的圆棒以透明导电膜为内侧进行弯曲时，在弯曲前后的薄膜电阻值变化率为50以下。(2)如⑴所述的氧化锌系导电性层合体，其特征在于，所述透明导电膜的厚度为50 250nm。(3)如⑴或⑵所述的氧化锌系导电性层合体，其特征在于，所述氧化锌系导电性层合体的初始薄膜电阻RO为700 Ω / □以下，在将所述氧化锌系导电性层合体分别在60°C、90%RH环境下及60°C环境下放置7天后的薄膜电阻值设为Rl、R2的情况下，其薄膜电阻值的第一变化率Tl=(Rl-RO)/RO的值为1.0以下，且薄膜电阻值的第二变化率T2=(R2-R0)/R0 的值为 4. O 以下。根据本专利技术，提供下述(4)的氧化锌系导电性层合体的制造方法。 (4)如(I)所述的锌系导电性层合体的制造方法，其为在基材的至少一面形成有底涂层和透明导电膜的氧化锌系导电性层合体的制造方法，其特征在于，具有底涂层形成工序，其中，在基材上形成底涂层；透明导电层形成工序，其中，在底涂层上通过离子镀法形成多层包含氧化锌系导电材料的透明导电层来形成所述透明导电膜。(5)如(4)所述的氧化锌系导电性层合体的制造方法，其特征在于，在所述透明导电膜形成工序中，被导入成膜室的氧气流量和氩气流量的比率为I :39 I :1。通过在该范围，透明导电膜的载流子密度变成2. OXlO2tl 9. 8X102°cm_3，故优选。(6)电子器件，其特征在于，具有⑴ (3)中任一项所述的氧化锌系导电性层合体。专利技术效果根据本专利技术的氧化锌系导电性层合体，可得到薄膜电阻为700Ω/ □以下，且即使在湿热条件后薄膜电阻的变动小，耐弯曲性也良好的优异效果。附图说明图I为层合体的剖面示意图。具体实施方案使用图I对本专利技术的氧化锌系导电性层合体进行说明。本专利技术的氧化锌系导电性层合体I为在基材11的至少一面形成有底涂层12和透明导电膜13而成的氧化锌系导电性层合体。下面，对氧化锌系导电性层合体I进行详细地说明。(基材)基材11只要符合与氧化锌系导电性层合体I的目的即可而没有特别限制，例如，可以举出使用聚酰亚胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚苯醚、聚醚酮、聚醚醚酮、聚烯烃、聚酯、聚碳酸酯、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、丙烯酸系树脂、环烯烃系聚合物、芳香族系聚合物、聚氨酯系聚合物、热固化型或辐射固化型树脂用热或辐射线固化而成的薄膜等。另外，其中，在不损害透明性、导电性的范围内也可以含有抗氧化剂、阻燃剂、润滑剂等各种添加剂。其中，从透明性优异且具有通用性的方面考虑，优选聚酯、聚酰胺或环烯烃系聚合物，更优选聚酯或环烯烃系聚合物。作为聚酯，可以列举聚对苯二甲酸乙二酯、聚对苯二甲酸丁二酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚芳酯等。作为聚酰胺，可以列举全芳香族聚酰胺、尼龙6、尼龙66、尼龙共聚物等。作为环烯烃系聚合物，可以列举降冰片烯系聚合物、单环的环状烯烃系聚合物、环状共轭二烯系聚合物、乙烯基脂环式烃聚合物、及它们的氢化物。作为其具体例子，可以举出7 (三井化学公司制的乙烯-环烯烃共聚物)、7 —卜> (JSR公司制的降冰片烯系聚合物)、七才V 7 (日本七' 才 > 公司制的降冰片烯系聚合物)等。基材11的厚度为10 500 μ m，优选为50 250 μ m。若为该范围，则不仅从透明 性及耐弯曲性的方面考虑优选，而且处理容易。在本专利技术中，作为透明性的指标，基材11优选全光线透射率为70%以上，雾度值为10%以下。为了实现它们的透明性，也可将低折射率材料或高折射率材料的层分别层合于上述的基材11。(底涂层)在本实施方案中，为了防止透明导电膜13的劣化，提高薄膜电阻值的稳定性，设置底涂层12。S卩，通过设置底涂层12，基材11中所含有的成分，例如，能够抑制低聚物成分或低分子成分在透明导电膜13中扩散，使透明导电膜13劣化。另外，能够提高基材11和透明导电膜13的密合性。这样，通过由底涂层12抑制透明导电膜13的劣化，能够提高透明导电膜13的耐湿性，结果，透明导电膜13的薄膜电阻值稳定。S卩，通过设置底涂层，本实施方案中的透明导电膜13的薄膜电阻值稳定，对于直径15mm的圆棒，以透明导电膜13为内侧，使氧化锌系导电性层合体I弯曲时，弯曲前后的薄膜电阻值变化率变成50以下。作为底涂层12，如上所述，只要能够抑制透明导电膜13的劣化，提高薄膜电阻值的稳定性即可而没有特别限制，可以举出由能量线固化型树脂或热固化型树脂构成的底涂层。优选地，通过使用在作为能量线固化型树脂的丙烯酸酯系单体中加入热塑性树脂及各种添加剂而得到的底涂层用涂布剂，设置作为目的的底涂层。能量线固化型树脂，具体可以举出，优选分子量不足1000的多官能(甲基)丙烯酸酯系单体。需要说明的是，(甲基)丙烯酸酯为丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的总称，其它的“(甲基)”也以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：永元公市，近藤健，纲野由美子，永绳智史，山本哲也，山田高宽，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，公立大学法人高知工科大学，
类型：
国别省市：