氧化锌系导电性层合体及其制造方法以及电子器件技术

本发明专利技术提供氧化锌系导电性层合体(1)，其在基材(11)的至少一面上形成有底涂层(12)和透明导电膜(13)，其中，透明导电膜为由氧化锌系导电材料构成的透明导电层多层形成，且透明导电膜的载流子密度为2.0×1020～9.8×1020cm-3，氧化锌系导电性层合体，对直径15mm圆棒，以透明导电膜为内侧进行弯曲，弯曲前后的薄膜电阻值变化率在50以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及氧化锌系导电性层合体及其制造方法以及电子器件。
技术介绍
一直以来，使用ITO作为透明导电膜。但是，ITO由于使用稀有金属铟，因此，提出氧化锌系导电材料作为ITO的代替透明导电材料。例如，虽然已知在含有烯烃系树脂的透明基板上形成含有氧化锌的导电膜并形成光透过率较高的透明导电膜层合体(例如，参照专利文献I)，但专利文献I涉及的透明导电膜层合体，有时电阻值也不够低，且与ITO相比，在湿热条件下薄膜电阻值劣化。因此，已知在氧化镓-氧化锌系透明导电膜中，通过使定氧化镓的掺杂量非常多 及使厚度为400nm，控制湿热条件下的薄膜电阻值(例如，参照非专利文献I)。但是，需要形成400nm透明导电膜，生产率显著恶化。另外，非常多地掺杂氧化镓量，从原材料的成本方面考虑并不现实。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2008-226641号公报非专利文献I :APPLIED PHYSICS LETTERS 89, 091904(2006)另一方面，近年来，报道有在柔性薄膜基板上设置液晶或有机电致发光材料等为代表的柔性器件。作为用于柔性器件的电极，透明导电膜即ITO是代表性的。可是，如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：永元公市，近藤健，纲野由美子，永绳智史，山本哲也，山田高宽，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，公立大学法人高知工科大学，
类型：
国别省市：