【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种，特别是涉及一种形成在液晶显示元件等的平板显示器、触摸屏、太阳能电池、有机EL等装置中设置的电极布线等的导电图案的方法。
技术介绍
在个人电脑、电视等大型电子设备、汽车导航、手机、电子词典等小型电子设备、OA · FA设备等显示设备中，具有液晶显示元件、触摸屏的产品正在普及。液晶显示元件、触摸屏中，在透明电极等要求透明性的地方利用了透明的导电膜。太阳能电池等也同样。作为能形成透明的导电膜的材料，已知ITO (氧化铟锡、Indium-Tin-Oxide)、氧化铟、氧化锡等。这些材料对可见光显示高透过率，作为形成液晶显示元件用基板等的透明电极的材料已成为主流。 在液晶显示装置中，有时用透明导电膜来形成布线、像素电极、端子等的一部分。此时，必须将透明导电膜制成一定的形状。作为透明导电膜的图案形成方法，可使用在形成透明导电膜后，在其上通过光刻法形成抗蚀图案，并通过湿蚀刻对导电膜进行图案形成的方法。作为蚀刻液，对于ITO膜、氧化铟膜，常使用盐酸和氯化铁这2液构成的混合液。另一方面，研究了使用ITO以外的材料来形成透明的导电膜。例如在下述专利文献I中公开了...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：山崎宏，五十岚由三，
申请(专利权)人：日立化成工业株式会社，
类型：
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。