一种超低频主动隔振装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种超低频主动隔振装置，台面固定于角条与横梁连接成的框架上，角条与基面底板间安装有高度调节器，支撑块固定有霍尔高度传感器，角条与霍尔高度传感器对应位置安装有磁块，基面底板上还安装有音圈电机，音圈电机的上端连接加速度传感器的一端，加速度传感器的另一端固定于横梁，横梁固定有限位棒。当台面因外部振动干扰发生振动时，台面通过霍尔高度传感器和加速度传感器分别向通过高度调节器和音圈电机输出控制信号，给台面提供一个相位相反、大小相近的力，保持台面和基面底板距离相对固定，最终达到超低频主动隔振的目的。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及隔振装置，是用于主动隔振平台中抑制机械装置运动时产生的振动，特别涉及一种超低频主动隔振装置。
技术介绍
随着超精密加工与测量、微纳米技术的不断提高，外部环境干扰振动和设备自身产生的振动都严重影响着精密设备的技术精度和使用寿命。为此需要提供与之相配套的各种隔振装置来保证精密设备的正常使用，同时对有关隔振装置的隔振性能——特别是超低频领域提出了更高的要求。弹簧作为常用的弹性元件，广泛用于各种振动设备的减震部件，其具有稳定性好，噪音低，隔振效果明显，使用寿命长等特点。然而目前的弹簧隔振在低频隔振方面性能还不理想，导致很大的程度上限制了其在超低频领域的进一步应用。目前，在低频隔振方面有二种解决方法。·美国专利US6, 402，118,BI “Magnetic Support System”(磁性支持系统)提出了一种磁支撑系统。该系统利用具有正负刚度的两种永磁铁布置在平台的两侧，使正负刚度相互抵消而实现超低频隔振。但是它的缺点在于调节精度差，不具有可编程性。另外它要求两个永磁铁正负刚度抵消，这对制造精度提出了苛刻的要求，难以实现，而且整个系统很难适应不同工作条件和负载变化的影响。公本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超低频主动隔振装置，其特征在于，台面（5）固定于角条（13）与横梁（14）连接成的框架上，角条（13）与基面底板（7）间安装有高度调节器（6），且基面底板（7）安装有支撑块（15），支撑块（15）固定有霍尔高度传感器（4），角条（13）与霍尔高度传感器（4）对应位置安装有磁块（16），基面底板（7）上还安装有音圈电机（10），音圈电机（10）的上端连接加速度传感器（3）的一端，加速度传感器（3）的另一端固定于横梁（14），横梁（14）固定有限位棒（17）；电源（1）、加速度传感器(3)、霍尔高度传感器(4)的输出端分别连接模/数转换器(2)输入端，模/数转换器(2)和人机交互界面(9)的输...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李永刚，齐豪，刘亦工，徐宁，许博，刘坤，
申请(专利权)人：江西连胜科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：