【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于超精密测量与超精密加工装备，主要涉及一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振器。
技术介绍
在超精密计量测试和超精密加工领域中，具有高质量水平姿态的平台是进行精密测量和大规模集成电路制造的基本保证。高质量水平姿态气浮隔振平台的应用十分广泛。在生物科学、电子光学、精密机械加工、理化试验及其研究相关的工厂中，平台的水平姿态控制会影响到机器设备的测量实验结果和仪表器械的使用性能，并且会直接影响气浮隔振平台对振动的抑制性能。随着超精密测量仪器和超精密加工制造设备的精度等级的提高，环境振动对仪器设备的影响越来越大。气浮隔振平台作为新兴的隔振设备也随着精密仪器制造业的发展而发展，特别是随着超大规模集成电路制造业的高速发展以及对测量精度和测量稳定性要求的不断提高。对于超精密测量仪器和超精密加工制造装备产生干扰的振动频率主要在0. 8 IOOHz内的低频振动；同时作为干扰振源主要包括两类，分别是来自外界环境的振动和来自被控对象本身产生的振动。被动隔振器从原理上依靠降低其固有频率，滤掉来自外界的振动，隔振效果取决于其固有频率的大小。但是固有频率与隔振器刚度算术平方根...
【技术保护点】
一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于所述装置由隔离平台(1)、中间套筒(2)和基座(3)构成；在基座(3)内配装带有环形气腔(13)的中间套筒(2)，在基座(3)内位于中间套筒(2)下方之间设有柱形气腔(12)，非接触式垂直位移传感器B(9)配装在柱形气腔(12)内，在基座(3)侧壁上设有与柱形气腔(12)连通的基座进气孔(10)；在中间套筒(2)上配置隔离平台(1)，在中间套筒(2)内侧壁上设置与隔离平台(1)相配合的内侧静压气浮节流孔(6)，外侧静压气浮节流孔(8)和中间套筒进气孔(11)设置在中间套筒(2)的外侧壁上，且外侧静压气浮节流孔(8)与基...
【技术特征摘要】
1.一种基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置，其特征在于所述装置由隔离平台(I)、中间套筒(2)和基座(3)构成；在基座(3)内配装带有环形气腔(13)的中间套筒(2)，在基座(3)内位于中间套筒(2)下方之间设有柱形气腔(12)，非接触式垂直位移传感器B (9)配装在柱形气腔(12)内，在基座(3)侧壁上设有与柱形气腔(12)连通的基座进气孔(10);在中间套筒⑵上配置隔离平台(I)，在中间套筒(2)内侧壁上设置与隔离平台(I)相配合的内侧静压气浮节流孔出)，外侧静压气浮节流孔(8)和中间套筒进气孔(11)设置在中间套筒⑵的外侧壁上，且外侧静压气浮节流孔⑶与基座⑶相配合，在中间套筒(2)底侧壁面和隔离平台(I)底侧壁面上分别相对配装电磁线圈(5)和永磁体(4);在中间套筒(2)上...
【专利技术属性】
技术研发人员：王雷，谭久彬，闻荣伟，赵勃，杨远源，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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