具有光栅的单纤三向复用器制造技术

技术编号:8214998 阅读:226 留言:0更新日期:2013-01-17 09:02
本发明专利技术提供一种具有光栅的单纤三向复用器。该单纤三向复用器至少包括:用于接入第一波长及第二波长的光波信号的输入波导;用于接入第三波长的光波信号的上传波导;第一输出波导;第二输出波导;及多模波导耦合器;该多模波导耦合器用于分离所述第一波长信号及第二波长信号,并使两者分别由第一输出波导及第二输出波导输出;此外,该多模波导耦合器所具有的光栅,能反射所述第三波长的光波信号,并使该光波信号由输入波导输出。优选地,输入波导、上传波导、第一输出波导、第二输出波导及多模波导耦合器均通过对半导体基底的刻蚀来形成。本发明专利技术的优点包括:结构紧凑小巧,且制作工艺与CMOS工艺完全兼容,无需复杂工艺,加工成本低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有光栅的单纤三向复用器,其特征在于,所述具有光栅的单纤三向复用器至少包括:用于接入第一波长及第二波长的光波信号的输入波导;用于接入第三波长的光波信号的上传波导;第一输出波导;第二输出波导;通过端口分别连接所述输入波导、上传波导、第一输出波导及第二输出波导的多模波导耦合器,用于分离所述第一波长信号及第二波长信号,并使两者分别由第一输出波导及第二输出波导输出,所述多模波导耦合器还具有光栅,所述光栅能反射所述第三波长的光波信号,并使该光波信号由输入波导输出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:盛振凌伟甘甫烷武爱民王曦邹世昌
申请(专利权)人:江苏尚飞光电科技有限公司中科院南通光电工程中心中国科学院上海微系统与信息技术研究所
类型:发明
国别省市:

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