集成型光分路器制造技术

一种集成型光分路器，包括：衬底，在衬底上设有下包层，在下包层上设有芯层，芯层由输入波导、锥形波导、第一输出波导及第二输出波导组成，输入波导的输出端与锥形波导的输入端连接，锥形波导的输出端分别与第一输出波导的输入端及第二输出波导的输入端连接，其特征是，在锥形波导上设有沟槽，并且，沟槽位于锥形波导的中轴线上且与锥形波导的输出端相邻。在锥形波导中引入沟槽，提高了模场的匹配度，使集成型光分路器具有功分比均匀、插入损耗低，工作波长范围大的优点，同时器件结构紧凑、加工难度低、器件良品率高，拓展了器件的应用领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于光通信系统、光计算机系统及光子/光电子集成回路的波导型光分路器，属于集成光学

技术介绍
光分路器是光通信系统、光计算机系统及集成光学器件的基础元件，在功分器和光干涉仪中它们被用作光分路器或者合路器，例如光开关、衰减器、调制器。光分路器主要有熔融拉锥型和平面波导型两种。熔融拉锥型光分路器的生产工艺因固化胶的热膨胀系数与石英基片、不锈钢管的不一致，在环境温度变化时热胀冷 缩的程度就不一致，此种情况容易导致光分路器损坏。熔融拉锥型光分路器为分立元件，不易于与其它光子器件实现单片集成。平面波导型光分路器是具有体积小、分路路数多等优点，易与波导型滤波器、激光器、探测器等光子器件实现单片集成。目前，平面波导型光分路器主要采用半导体工艺(光亥IJ、腐蚀、显影)制作，输出分支间的间隙不能完全消除；并且，随着材料的折射率差增大，输出分支之间间隙的相对宽度相应变大，单模波导宽度进一步缩小，而输出分支之间的最小间隙仍保持不变，如此在单模波导中，输出分支间的相对宽度进一步变大。因而对于单模波导，高折射率差材料将导致模式匹配度降低，以至于附加损耗增大，进一步增加加工难度，降低本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成型光分路器，包括：衬底（Ⅰ），在衬底（Ⅰ）上设有下包层（Ⅱ），在下包层（Ⅱ）上设有芯层（Ⅲ），芯层（Ⅲ）由输入波导（1）、锥形波导（2）、第一输出波导（4）及第二输出波导（5）组成，输入波导（1）的输出端与锥形波导（2）的输入端连接，锥形波导（2）的输出端分别与第一输出波导（4）的输入端及第二输出波导（5）的输入端连接，其特征是，在锥形波导（2）上设有沟槽（3），并且，沟槽（3）位于锥形波导（2）的中轴线上且与锥形波导（2）的输出端相邻。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖金标，郭平，许大信，胥爱民，鲁仲明，
申请(专利权)人：东南大学，南京华脉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：