【技术实现步骤摘要】
总体上,本申请涉及精确测量仪器,更具体地,本申请涉及光位移编码器。
技术介绍
各种光位移编码器已为人们所熟悉,它们使用了具有光设置的读写头,所述光设置把刻度图案成像于读写头中的光检测器设置。刻度图案的图像与刻度构件串联位移,并且使用光检测器设置检测所位移的刻度图案图像的移动或位置。为了检测包含刻度光栅的刻度构件的位移,光编码器可以利用自成像设置。Cowley,J.M.和A.F.Moodie的论文“FourierImages:I-ThePointSource”(1957年,Proc.Phys.Soc.B,70,486)中描述了自成像图像(也称为Talbot图像)的基本原理,将这一论文的全部内容并入此处,以作参考。专利号为7,608,813的美国专利(’813专利)中公开了利用自成像的示范性光编码器,将全部内容并入此处,以作参考。类似的编码器可能会利用根据Lau效应原理、按2或3个光栅编码器设置生成的自成像图像。Crespo等人的论文“OpticalEncoderBasedontheLauEffect”(2000年3月,Opt.Eng.39(3),817-824)中公开了一个实例。其它的光编码器可能会利用moiré成像技术。申请号为US20130161499A1的美国专利申请中公开了利用moiré成像技术的示范性光编码器,将这一专利的全部内容并入此处,以作参考。诸如’813专利中所公开的典型的编码器配置依赖于具有固定 ...
【技术保护点】
一种光编码器的照射部分,所述光编码器包含照射部分、沿测量轴方向延伸以及被配置为从照射部分接收光的刻度光栅、以及被配置为从刻度光栅接收光的检测器配置,其中:照射部分包含可寻址光源阵列;可寻址光源阵列包含沿测量轴方向设置的各个源;以及可寻址光源阵列配置为至少提供各个源的至少第一和第二可寻址集合。
【技术特征摘要】
2014.11.17 US 14/543,7391.一种光编码器的照射部分,所述光编码器包含照射部分、沿测量轴方
向延伸以及被配置为从照射部分接收光的刻度光栅、以及被配置为从刻度光
栅接收光的检测器配置,其中:
照射部分包含可寻址光源阵列;
可寻址光源阵列包含沿测量轴方向设置的各个源;以及
可寻址光源阵列配置为至少提供各个源的至少第一和第二可寻址集合。
2.根据权利要求1所述的照射部分,其中,各个源的第一可寻址集合为
光源的整个周期可寻址阵列,并且各个源的第二可寻址集合为光源的周期可
寻址阵列的子集。
3.根据权利要求1所述的照射部分,其中,各个源的第一可寻址集合为
光源的周期可寻址阵列的子集,并且各个源的第二可寻址集合为光源的周期
可寻址阵列的子集。
4.根据权利要求1所述的照射部分,其中,沿具有第一节距P1的测量
轴方向周期性地设置各个源的至少第一可寻址集合的各个源。
5.根据权利要求4所述的照射部分,其中,沿具有第二节距P2的测量
轴方向周期性地设置各个源的第二可寻址集合的各个源。
6.根据权利要求1所述的照射部分,其中:
在光编码器中设置照射部分;以及
照射部分配置为使用各个源的操作集合,所述各个源沿测量轴方向大约
相对检测器配置为中心,而且其排除接近可寻址光源阵列末端的至少一个各
个源。
7.根据权利要求6所述的照射部分,其中,各个源的操作子集相对可寻
址光源阵列偏离中心。
8.根据权利要求1所述的照射部分,其中:
在光编码器中设置照射部分;以及
照射部分配置为使用各个源的操作集合,其中:
沿测量轴方向、根据照射节距PMI周期性地间隔操作集合的各个源。
9.根据权利要求8所述的照射部分,其中,各个源包括LED和接近LED
基底的反射元件,所述LED配置为沿横穿测量轴方向的方向为长,沿测量轴
方向为窄的条形。
10.根据权利要求8所述的照射部分,其中,刻度光栅具有沿测量轴方
向的刻度节距PSF,而且检测器配置包含一组光检测器部分,它们具有沿测
量轴方向的检测器节距Pd,以及照射节距PMI近似满足表达式PMI=
Pd*PSF/(Pd-PSF)。
11.根据权利要求10所述的照射部分,其中,照射部分输出具有波长λ
的光,并且沿横穿测量轴方向的方向按距离Zs间隔照射部分与刻度光栅,其
中,距离Zs满足表达式Zs=2*PMI*PSF/λ...
【专利技术属性】
技术研发人员:BKH麦科伊,CE埃姆特曼,
申请(专利权)人:株式会社三丰,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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