一种光谱仪的分光结构制造技术

技术编号:14668853 阅读:121 留言:0更新日期:2017-02-17 19:11
本实用新型专利技术涉及一种光谱仪的分光结构,包括凹面光栅、入射狭缝和传感器,凹面光栅和入射狭缝均设置在凹面光栅的罗兰圆的圆周上,还包括第一光学反射镜、第二光学反射镜和第三光学反射镜,第一光学反射镜、第二光学反射镜、传感器和第三光学反射镜均设置在罗兰圆内侧;经入射狭缝入射的光线通过第一光学反射镜反射后达到凹面光栅,同时入射狭缝经第一光学反射镜镜面成像于罗兰圆的圆周上,形成虚拟入射狭缝;通过凹面光栅分光后的光线通过第二光学反射镜和第三光学反射镜两次反射后达到传感器,同时传感器经第三光学反射镜镜面成像,再经第二光学反射镜镜面成像于罗兰圆的圆周上,形成虚拟传感器。本实用新型专利技术可以在保持高分辨率下缩减光谱仪体积。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学设备领域,具体涉及一种光谱仪的分光结构。
技术介绍
光谱仪作为现代仪器的重要分支,在科学仪器和工业仪器领域占有重要的地位。在光谱仪中,分光系统是核心部分。将入射狭缝、准直器件、分光器件、成像器件和探测器按照一定的光学结构安装在一起,组成分光系统。大型光谱仪器常用的分光系统有帕邢-龙格结构和切尔尼-特纳结构。帕邢-龙格结构常用于固定式光学系统,切尔尼-特纳结构常用于扫描式光学系统。在帕邢-龙格固定式光学结构中,为了同时能够获得全部波长范围内的谱线数据,需要在成像谱面(即罗兰圆)放置多块传感器以铺满整个成像谱面。在切尔尼-特纳扫描式光学结构中,成像谱面上只需安装一个传感器即可。依靠转动光栅来进行扫描动作,依次将要测量的谱线移动到传感器上,仪器成本较低。但这种结构除了狭缝和光栅外,还需要额外的准直器件和成像器件,光路系统相对复杂,增加了光学衰减,使得仪器体积庞大,限制了切尔尼-特纳扫描式光学结构的精密光谱仪的使用场合。不管以上哪种结构,作为光谱仪核心指标之一的光学分辨率,展示了光谱仪对光谱的分解能力,光学分辨率越高则分解能力越强,性能也越好。但是光学分辨率越高,也就意味着光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光谱仪的分光结构,包括凹面光栅(1)、入射狭缝(5)和传感器(8),所述凹面光栅(1)和入射狭缝(5)均设置在凹面光栅(1)的罗兰圆(2)的圆周上,其特征在于:还包括第一光学反射镜(6)、第二光学反射镜(7)和第三光学反射镜(9),第一光学反射镜(6)、第二光学反射镜(7)、传感器(8)和第三光学反射镜(9)均设置在罗兰圆(2)内侧;经入射狭缝(5)入射的光线通过第一光学反射镜(6)反射后达到凹面光栅(1),同时入射狭缝(5)经第一光学反射镜(6)镜面成像于罗兰圆(2)的圆周上,形成虚拟入射狭缝(3);通过凹面光栅(1)分光后的光线通过第二光学反射镜(7)和第三光学反射镜(9)两次反射后达...

【技术特征摘要】
1.一种光谱仪的分光结构,包括凹面光栅(1)、入射狭缝(5)和传感器(8),所述凹面光栅(1)和入射狭缝(5)均设置在凹面光栅(1)的罗兰圆(2)的圆周上,其特征在于:还包括第一光学反射镜(6)、第二光学反射镜(7)和第三光学反射镜(9),第一光学反射镜(6)、第二光学反射镜(7)、传感器(8)和第三光学反射镜(9)均设置在罗兰圆(2)内侧;经入射狭缝(5)入射的光线通过第一光学反射镜(6)反射后达到凹面光栅(1),同时入射狭缝(5)经第一光学反射镜(6)镜面成像于罗兰圆(2)的圆周上,形成虚拟入射狭缝(3);通过凹面光栅(1)分光后的光线通过第二光学反射镜(7)和第三光学反射镜(9)两次反射后达到传感器(8),同时传感器(8)经第三光学反射镜(9)镜面成像,再经第二光学反射镜(7)镜面成像于罗兰圆(2)的圆周上,形成虚拟传感器(4)。2.根据权利要求1所述的光谱仪的分光结构,其特征在于:所述第一光学反射镜(6)位于凹面光栅(1)和虚拟入射狭缝(3)之间,虚拟入射狭缝(3)位于通过第一光学反...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖波马建州袁海军顾德安
申请(专利权)人:无锡创想分析仪器有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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