【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术关于喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物、由该组合物所形成的显示元件用层间绝缘膜及其形成方法，该正型射线敏感性组合物为适合作为液晶显示元件、有机EL显示元件等显示元件的显示元件用层间绝缘膜的形成材料。
技术介绍
在显示元件中，一般以将层状配置的配线之间进行绝缘为目的，设置显示元件用层间绝缘膜。作为显示元件用层间绝缘膜的形成材料，广泛使用正型射线敏感性组合物，这是因为得到必要的图案形状所需的エ序数少，而且所得的显示元件用层间绝缘膜要求高度 的平坦性。关于该正型射线敏感性组合物，日本特开2004-264623号公报中提出一种正型射线敏感性树脂组合物，其含有含缩醛构造及/或缩酮构造以及环氧基的树脂及酸产生剂。然而，此正型射线敏感性树脂组合物射线敏感度不充分，作为形成显示元件用层间绝缘膜用的材料无法被满足。另ー方面，日本特开2002-131896号公报中掲示了旋涂法，作为在小型基板上涂布射线敏感性组合物的方法。若基于此旋涂法，可在对基板的中央滴下射线敏感性组合物后，以使基板旋转的涂布方法得到良好的涂布均匀性。然而，用此旋涂法涂布大型基板吋，有下述不佳状況，即...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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