一种分布反馈激光器阵列制造技术

本实用新型专利技术公开了一种分布反馈激光器阵列。它由制作在同一块半导体外延片上的多个平行排列的分布反馈激光器组成。半导体外延片至少包括上包层、有源层、间隔层、折射率控制层、下包层和衬底。有源层或者折射率控制层内含有形成分布反馈的布拉格光栅。折射率控制层之上各层形成分布反馈激光器的上台面。折射率控制层形成分布反馈激光器的导波结构，阵列中每个分布反馈激光器导波结构宽度不同。该分布反馈激光器阵列中的任一个分布反馈激光器由上电极、上台面、导波结构、衬底和下电极组成。不同宽度的导波结构实现每个分布反馈激光器在拥有相同周期的布拉格光栅的同时使激射波长有一定的偏移。该分布反馈激光器阵列可用作多波长激光器和可调谐激光器。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种分布反馈激光器阵列，尤其是涉及激射波长可调谐且可以多波长激射的一种分布反馈激光器阵列。
技术介绍
信息技术的普及与发展使对网络技术的要求越来越高，尤其对带宽的需求越来越大。密集波分复用和无源光网络等新一代技术的发展提出了对多波长光源的需求。多个分立的激光器固然能够满足对波长的需要，但是分立器件之间相互独立，每个器件的工作状况相差较大，导致光源设备的整体性能在稳定性、可靠性方面无法保证。在这样的背景下，可调谐激光器在具有了重大的优势。一类可调谐激光器通过注入电流或者通过加热等方式影响激光器的参数，从而改变激光器的激射波长；另一类采用多个不同激射波长的激光器集成的方式来实现激射波长的调谐。多个激光器集成的方式可以获得更大的调谐范围，更 紧凑的结构和更高的稳定性。分布反馈激光器具有发射功率大，高速调制时单模性能好等特点，已广泛作为光源应用在光通信、光传感等领域。分布反馈激光器阵列继承了单个分布反馈激光器的优点，同时实现了优越的可调谐性能，并且结构简单，可靠性高，稳定性好。分布反馈激光器阵列，由数个分布反馈激光器组成，其中每个激光器的激射波长相对上一个有一定的偏移。需要较小的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分布反馈激光器阵列，其特征在于：它是由制作在同一块半导体外延片（1）上的多个平行排列的分布反馈激光器（2）构成；半导体外延片(1)？从上至下依次包括上包层(11)、有源层(12)？、间隔层（14）、折射率控制层（13）、下包层(15)和衬底(16)，用于形成分布反馈的布拉格光栅(121)设置在有源层(12)或者折射率控制层（13）中；布拉格光栅（121）的周期在整块半导体外延片（1）上保持一致；所有分布反馈激光器（2）与布拉格光栅(121)垂直；上包层（11）、有源层（12）和间隔层（14）构成分布反馈激光器（2）的上台面（21）；折射率控制层（13）形成导波结构（22）；分布反馈激光器阵...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孟剑俊，武林，王磊，何建军，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：