【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅生产设备
，特别涉及ー种新型单晶炉热屏升降装置。
技术介绍
单晶炉是生产集成电路、太阳能及其他半导体行业原材料的重要设备。单晶炉是根据(C-Z Method)原理，在氩气体炉体内通过高纯等静电石墨加热器以高温将硅材料熔化，自动控制籽晶提升(旋转)机构、坩埚提升(旋转)机构、CCD直径控制系统、温度測定系统等部件的精密配合进行生长。热屏升降装置的作用如下在单晶硅装料过程中，将导流筒提起装入更多的硅料(导流筒的上升，对增加硅料提供了很大的空间)。在化料过程中，导流筒与液面不会有接触，避免导流筒沾上液体硅料，使晶体生长有了更好的环境。同时，保护了热场，提高了硅料的利用率。然而，现有的热屏升降装置在传动过程中由于软轴扭矩较小，导致传动时软轴变形，造成热屏升降装置的传动效率低、热屏掉落等缺陷。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种可靠性、传动效率高的新型单晶炉热屏升降装置。ー种新型单晶炉热屏升降装置，包括动カ输出装置、软轴及提拉装置。动カ输出装置与软轴的一端连接，软轴的另一端与提拉装置连接。动カ输出装置输出预定动力，并通过软轴提供给提拉装置，提拉装置利...
【技术保护点】
一种新型单晶炉热屏升降装置，包括动力输出装置、软轴及提拉装置，动力输出装置与软轴的一端连接，软轴的另一端与提拉装置连接，动力输出装置输出预定动力，并通过软轴提供给提拉装置，提拉装置利用软轴提供的动力将单晶炉的导流筒提升、下降，其特征在于：提拉装置包括两个压轮、底座、挡条、转轴、端盖、压盖、联轴器？B？、挂钩、滑轮、磁流体、轴承、软轴、钨丝绳；底座、端盖与压盖相配合组成收容空间，转轴、滑轮设置在底座、端盖与压盖相配合组成收容空间内，磁流体设置在端盖的侧壁上且与端盖连通，转轴一端从磁流体伸出后与联轴器？B连接，另一端通过设置在压盖上的轴承装入压盖；两个压轮、挡条相互配合安装在底...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴学军，周凯平，
申请(专利权)人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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