本实用新型专利技术单晶炉石墨坩埚提取装置，包括：连接杆；抓取臂，所述抓取臂设置在所述连杆的两端，所述抓取臂与所述连接杆活动连接；托板，所述托板设置在所述抓取臂的非与所述连接杆连接的连接端。所述抓取臂的长度大于石墨坩埚托盘的底部至石英坩埚顶端的距离。所述连接杆的长度大于石墨坩埚的宽度。本实用新型专利技术单晶炉石墨坩埚提取装置抓取臂的构造为可以开闭。工作时，将提取装置移到单晶炉的上端，抓取臂打开，然后提取装置向下移动到相应位置，抓取臂关闭，托板托住搭肩，抓住石墨坩埚托盘后提升并取出。通过本实用新型专利技术中的热场构造，使用提取装置取出石墨坩埚托盘和石墨坩埚。这样的方式能缩短热场冷却时间3-4小时，提高生产效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及CZ法拉单晶炉石墨坩埚提取装置。
技术介绍
单晶硅一般采用CZ法生产。CZ法是依靠加热器将石英坩埚内的原料硅溶解，再将安装在籽晶夹头上的籽晶浸入溶液中。然后，使籽晶夹头和石英坩埚相对逆向旋转，同时提拉籽晶夹头，使晶锭(单晶硅)按照所设定的直径及长度生长的方法。使用时一般采用的是盛装熔液的石英坩埚和盛放并支撑石英坩埚的石墨坩埚的双重构造。为防止石墨坩埚与其中盛放的石英坩埚因热膨胀系数不同而发生破裂，石墨坩埚被纵向分成了几部分，其形状并不固定。在拉晶结束清扫热场时，取出已使用过的石英坩埚后，多采用人カ将分体式石星;fc甘祸取出。·拉晶结束后取出石墨坩埚时，如果是小型的热场，即使采用人力也不算费力，但是近年热场正在越来越大型化，用人力来对应就变得越来越难了。另外，为了能够让包围在石墨坩埚外周的加热器高效加热溶解石英坩埚内盛放的原料硅，在加热时尽量将石墨坩埚放置在加热器内部。石墨坩埚外表面和加热器的内表面之间的间隙很小。比如通常设定为只有12毫米左右。此外，通常坩埚轴的行程范围只能满足拉晶的最低需要，即确保到达拉晶用的装料位置和化料位置等。即使在如此有限的空间里，也能够用エ装也可将分体式石墨坩埚(瓣状)取出，但是，考虑到实际的使用情况，就会发现这些エ装很难在实际中广泛使用、因为这些エ装的结构复杂、石墨坩埚掉落的危险性较高，存在各种问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种无石墨i甘祸掉落的危险，能够确保石墨i甘祸周围的充足空间实现取出，エ装的构造简单等的单晶炉石墨坩埚提取装置。为解决上述技术问题，本技术单晶炉石墨坩埚提取装置，包括连接杆；抓取臂，所述抓取臂设置在所述连杆的两端，所述抓取臂与所述连接杆活动连接；托板，所述托板设置在所述抓取臂的非与所述连接杆连接的连接端。所述抓取臂的长度大于石墨坩埚托盘的底部至石英坩埚顶端的距离。所述连接杆的长度大于石墨坩埚的宽度。本技术单晶炉石墨坩埚提取装置抓取臂的构造为可以开闭。工作时，将提取装置移到单晶炉的上端，抓取臂打开，然后提取装置向下移动到相应位置，抓取臂关闭，托板托住搭肩，抓住石墨坩埚托盘后提升并取出。通过本技术中的热场构造，使用提取装置取出石墨坩埚托盘和石墨坩埚。这样的方式能缩短热场冷却时间3-4小时，提高生产效率。附图说明图I为本技术单晶炉石墨坩埚提取装置张开示意图；图2为本技术单晶炉石墨坩埚提取装置工作示意图；本技术单晶炉石墨坩埚提取装置及其使用方法附图中附图标记说明I-抓取臂 2-连接杆 3-石墨坩埚托盘4_石墨;t甘祸 5_石英;t甘祸6_托板7_ 搭肩具体实施方式以下结合附图对本技术单晶炉石墨坩埚提取装置及其使用方法作进ー步详细说明。 如图I、图2所示，本技术单晶炉石墨坩埚提取装置，包括连接杆2，连接杆2的长度大于石墨坩埚4的宽度；设置在连接杆2两端的抓取臂1，抓取臂I的长度大于石墨坩埚托盘3的底部至石英坩埚5顶端的距离；托板6设置在抓取臂I的非与连接杆2连接的连接端。本技术单晶炉石墨坩埚提取装置抓取臂的构造为可以开闭。工作时，将提取装置移到单晶炉的上端，抓取臂I打开，然后提取装置向下移动到相应位置，抓取臂I关闭，托板6托住搭肩7，抓住石墨坩埚托盘3后提升并取出。通过本技术中的热场构造，使用提取装置取出石墨坩埚托盘3和石墨坩埚4。这样的方式能缩短热场冷却时间3-4小吋，提闻生广效率。以上已对本技术创造的较佳实施例进行了具体说明，但本技术并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本技术创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请的范围内。权利要求1.单晶炉石墨坩埚提取装置，其特征在于，包括 连接杆； 抓取臂，所述抓取臂设置在所述连杆的两端，所述抓取臂与所述连接杆活动连接； 托板，所述托板设置在所述抓取臂的非与所述连接杆连接的连接端。2.根据权利要求I所述的单晶炉石墨坩埚提取装置，其特征在于，所述抓取臂的长度大于石墨坩埚托盘的底部至石英坩埚顶端的距离。3.根据权利要求I所述的单晶炉石墨坩埚提取装置，其特征在于，所述连接杆的长度大于石墨坩埚的宽度。专利摘要本技术单晶炉石墨坩埚提取装置，包括连接杆；抓取臂，所述抓取臂设置在所述连杆的两端，所述抓取臂与所述连接杆活动连接；托板，所述托板设置在所述抓取臂的非与所述连接杆连接的连接端。所述抓取臂的长度大于石墨坩埚托盘的底部至石英坩埚顶端的距离。所述连接杆的长度大于石墨坩埚的宽度。本技术单晶炉石墨坩埚提取装置抓取臂的构造为可以开闭。工作时，将提取装置移到单晶炉的上端，抓取臂打开，然后提取装置向下移动到相应位置，抓取臂关闭，托板托住搭肩，抓住石墨坩埚托盘后提升并取出。通过本技术中的热场构造，使用提取装置取出石墨坩埚托盘和石墨坩埚。这样的方式能缩短热场冷却时间3-4小时，提高生产效率。文档编号C30B15/00GK202643890SQ20122019356公开日2013年1月2日 申请日期2012年4月28日 优先权日2012年4月28日专利技术者舟桥启 申请人:上海汉虹精密机械有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
单晶炉石墨坩埚提取装置，其特征在于，包括：连接杆；抓取臂，所述抓取臂设置在所述连杆的两端，所述抓取臂与所述连接杆活动连接；托板，所述托板设置在所述抓取臂的非与所述连接杆连接的连接端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：舟桥启，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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