用于将结构引入或施加到衬底上的设备制造技术

本发明专利技术涉及一种用于将结构引入或施加到衬底（1）上的设备，其中该设备具有至少两个结构化模块（10，12，14，16，18，20），所述结构化模块分别具有至少一个结构化工具，其中相邻结构化模块（10，12，14，16，18，20）的结构化工具具有在要结构化的衬底（1）上的毗邻的或者重叠的工作区域（10a，12a，14a，16a，18a，20a）并且可以由至少第二结构化模块（10，12，14，16，18，20）无中断地继续地分别构造由结构化模块（10，12，14，16，18，20）产生的结构（2，4，6，8）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于利用用于衬底的支架(Auflage)和利用至少ー个结构化模块通过材料去除或材料涂敷或者材料装入或者材料修改将结构引入或施加到经涂层的或未经涂层的平面衬底上。
技术介绍
这种设备例如在半导体制造中被用于制造平板屏幕或太阳能电池。所述设备尤其是用于引入或施加线状结构。在许多应用情况下，要产生的结构在此彼此平行。为了能够以合理的方式也对大平面衬底进行结构化，已经已知具有多个结构化模块的设备，所述结构化模块能够将多个结构并行地引入到衬底上或引入到衬底中。对于必须产生不与空间方向X或y之一平行的结构的应用，迄今使用具有结构化模块的设备，该结构化模块在X和y方向上可活动地布置在设备处。但是利用这样的单个模块不能合理地对大平面衬底进行处理。此外，对所述设备的结构化模块的操控是相对耗费的。此外，结构化工具在较大距离上的快速移动经常不能以对于结构化任务需要的精度实现。如果作为结构化工具例如使用激光器，则要移动的结构化模块具有相对大的质量，这附加地使快速和精确的移动变得困难。此外，结构化模块的轻微的震动就已经足以使激光射线从希望的结构化路径偏转。
技术实现思路
因此本专利技术所基于的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：D曼茨，C库恩，G辛格，
申请(专利权)人：曼兹股份公司，
类型：
国别省市：