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本发明涉及一种用于将结构引入或施加到衬底（1）上的设备，其中该设备具有至少两个结构化模块（10，12，14，16，18，20），所述结构化模块分别具有至少一个结构化工具，其中相邻结构化模块（10，12，14，16，18，20）的结构化工具具...
该专利属于曼兹股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过曼兹股份公司授权不得商用。

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