垂直型发光二极管制造技术

技术编号:8162748 阅读:175 留言:0更新日期:2013-01-07 20:19
本发明专利技术公开了一种垂直型发光二极管,其具有衬底,所述衬底的下表面形成有透明金属欧姆接触层,所述透明金属欧姆接触层下方形成有n型电极,该n型电极通过所述透明金属欧姆接触层而与所述衬底实现电连接;所述衬底的上表面上依次形成有GaN缓冲层、n型GaN层、多量子阱发光层(MQW)、p型AlGaN层、p型GaN层、透明电极层,p金属电极,所述GaN缓冲层的表面被粗化处理后形成第一表面粗化层;所述垂直型发光二极管的上表面、下表面以及所有侧面都形成第二表面粗化层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体
,特别涉及一种垂直型的发光二极管。
技术介绍
半导体发光二极管应用日益广泛,特别是在照明方面有取代白炽灯和荧光灯的趋势,但是目前还面临一些技术上的问题,特别是光取出效率比较低。近年来,为了提高发光二极管的发光功率和效率,发展了垂直结构的发光二极管,相对于正装结构的发光二极管来说,垂直结构的发光二极管诸多优点。对于正装结构的发光二极管而言,由于n、p电极都处于衬底的同一侧,因此电流须在同侧的n、p型电极之间横向流动,这样就导致电流拥挤,发热量高。而垂直结构发光二极管的两个电极分别处于发光二极管的两侧,电流几乎全部垂直流过外延层,没有横向流动的电流,因此电流分布均匀, 产生的热量相对较少。并且由于垂直结构的两个电极处于两侧,因此出光过程中不会受到同侧电极的阻挡,其出光效率更高。在发光二极管的实际工作过程中,当光离开二极管内部时,其无论如何都无法避免发生损耗,造成损耗的主要原因,是由于形成发光二极管表面层的半导体材料具有高折射系数。高的光折射系数会导致光在该半导体材料表面产生全反射,从而使发光二极管内部发出的光无法充分地发射出去。目前,业内已经通过表面粗化技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种垂直型发光二极管,所述发光二极管具有衬底,所述衬底的下表面形成有透明金属欧姆接触层,所述透明金属欧姆接触层下方形成有n型电极,该n型电极通过所述透明金属欧姆接触层而与所述衬底实现电连接;所述衬底的上表面上依次形成有GaN缓冲层、n型GaN层、多量子阱发光层(MQW)、p型AlGaN层、p型GaN层、透明电极层,p金属电极;其特征在于:所述GaN缓冲层的表面被粗化处理后形成第一表面粗化层;所述垂直型发光二极管的上表面、下表面以及所有侧面都形成第二表面粗化层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:虞浩辉周宇杭
申请(专利权)人:江苏威纳德照明科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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